照明用薄膜の蒸着

精密な薄膜蒸着プロセスは、固体照明（SSL）システム（OLEDとLEDダイオードの組み合わせ）の性能を高める上で重要な役割を果たします。SSLメーカーは、安定した品質の精密なコーティングを提供する薄膜蒸着プロセスを必要としています。付加価値の高い真空バルブは、プロセスの品質と安定性に決定的な影響を与えますが、転送バルブ、制御バルブ、隔離バルブとして使用されています。

付加価値を生む高性能

要求の厳しい成膜プロセスに対応するVAT真空バルブソリューションは、精密で安定した機能と、メンテナンスを最小限に抑えた高い稼働率が特徴です。

VATの真空バルブソリューションが、照明用薄膜コーティングの課題をどのように解決するかについては、以下の製品からお選びください。