現場で実証された技術

結晶成長用のVAT真空バルブは、粒子の活性化と放出を防ぐことに特化した、現場で実証済みのバルブコンセプトで構成されています。コントロールバルブは、特に精密で繊細な制御性を特徴としており、低コンダクタンス値でも信頼性の高いプロセス制御が可能です。また、メンテナンスの必要性を最小限に抑えることで、高い可用性を実現しています。

結晶成長の課題を解決するためのVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。

対象製品

ゲートバルブ

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

ゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

高真空ゲートバルブ

14.0

高真空ゲートバルブ

標準的な高サイクル真空隔離用

保護リング付き高真空ゲートバルブ

17.2

1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

過酷な環境でも高い信頼性

小型アングル/管内バルブ

21.4

1 × 10-8 mbar～10 bar (abs)

小型アングル/管内バルブ

圧縮空気がない密閉と排気でも妥協のない信頼性

高真空アングルバルブ

26.4

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

高真空アングルバルブ

妥協のない柔軟性と信頼性

高真空管内バルブ

26.5

1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)

高真空管内バルブ

妥協のない信頼性

HVバタフライコントロールバルブ

61.3

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HVバタフライコントロールバルブ

高速で正確なダウンストリーム圧力制御

HV締切り機能付バタフライコントロールバルブ

61.6

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HV締切り機能付バタフライコントロールバルブ

高速で正確に圧力を制御、締切り

HVバタフライコントロールバルブ

61.7

HVバタフライコントロールバルブ

極めて低いコンダクタンスで抜群の制御性を実現

HVアングルコントロールバルブ

62.0

1 × 10-8 mbar～1.4 bar (abs)

HVアングルコントロールバルブ

高圧・高温ソリューション

ガスドージングバルブ

62.7

1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

ガスドージングバルブ

真空チャンバー内のガス流を確実に制御

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