Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung
Die Steuerung der in der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung eingesetzten Vakuumumgebung erfordert hochpräzise Vakuumventi...
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Zuverlässige Absperrung unter allen Bedingungen
Die 15.2 UHV-Schieber wurden speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen eine geringe Partikelfreisetzung und Stoßvermeidung entscheidend ist. Die Ventile können zur Vakuumabsperrung bei verschiedenen Druckstufen bis zu UHV < 10-10 mbar eingesetzt werden.
Alle Ventile der Baureihe arbeiten mit der von VAT patentierten MONOVAT-Technologie, die speziell entwickelt wurde, um eine zuverlässige Tellerdichtung ohne Reibung zu gewährleisten. Bei der MONOVAT-Technologie wird die Dichtung an den Teller vulkanisiert, um eine zuverlässige und dauerhafte Abdichtung zu gewährleisten, in Verbindung mit geringer Partikelfreisetzung und reduzierter Ausgasung.
Der spezielle „Soft-Close“-Mechanismus des MONOVAT - frei von jeglichen Schmiermitteln - minimiert darüber hinaus mechanische Stöße des Schiebers. Bei herkömmlichen Ventillösungen können mechanische Stöße zu einer ungewünschten Partikelaktivierung im Vakuumsystem betragen.
Bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen installiert, hat die 15.2 UHV-Schieber-Baureihe ihre herausragende Zuverlässigkeit unter verschiedenen Prozessbedingungen bewiesen.
Eine robuste Konstruktion mit geteiltem Gehäuse reduziert und vereinfacht den Wartungsaufwand. Die Baureihe erfüllt mühelos alle Anforderungen der Vakuumabsperrung von Standardvakuum bis zum ultrahohen Vakuum.
Verschiedene Optionen bei Flanschanschlüssen, Dichtungsmaterialien oder zusätzlichen Vakuumanschlüssen ermöglichen eine einfache Integration in jede Anwendung.
15.2 UHV-Schieber sind mit pneumatischem Antrieb und Steuerventilen erhältlich; entweder als „On-board“-Lösung oder zur externen Montage. Die Standardspannung der Steuerventile beträgt 24 VDC, andere Spannungen sind auf Anfrage erhältlich. Die Ventilstellung wird durch mechanische oder elektrische Positionsanzeiger angezeigt, diese sind bis max. 140°C ausheizbar.
Optionen sind Flanschanschlüsse in ISO-F, CF-F (15.2), ASA-LP und JIS oder kundenspezifische Flansche. Kundenspezifische Anforderungen können integriert werden, z. B. spezielle Anschnitte mit Fenstern und Folien oder zusätzliche Vakuumanschlüsse.
Die Ventile sind mit FKM-Dichtungen ausgestattet. Andere Dichtungsmaterialien sind auf Anfrage erhältlich.
Hauptmerkmale des 15.2 UHV-Schieber
Merkmale:
- MONOVAT-Technologie zur Vermeidung von Partikelfreisetzung
- Zuverlässige, bewährte Konstruktion
- Geteiltes Ventilgehäuse
- Geschweißter Metallfaltenbalg zur Abdichtung der Schiebedurchführung
Vorteile:
- „Soft-Close“-Antrieb
- Zuverlässige Leistung
- Einfache Wartung
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| Grössen | DN 63 (2½’’), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend | |
| Gehäusewerkstoff | Nichtrostender Stahl | ||
| Durchführung | Balg | ||
| Standard Flansche | ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS | ||
| Dichheit | Ventilgehäuse | < 5 × 10-10 mbar ls-1 | |
| Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| Druckbereich | 1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs) | ||
| Differenzdruck | am Teller | ≤ 1.2 bar | |
| beim Öffnen | ≤ 30 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | 500 000 | ||
| Temperatur | Ventilgehäuse | ≤ 250 °C offen / ≤ 200 °C geschlossen | |
| Antrieb | ≤ 100 °C (DN 200) ≤ 200 °C (DN 63 – 160) |
||
| Steuerventil | ≤ 50 °C | ||
| Lagemelder | ≤ 80 °C | ||
| Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 50 °C h-1 | ||
| Werkstoff | Ventilgehäuse | AISI 304 (1.4301) | |
| Balg | AISI 633 (AM350) | ||
| Dichtung | Kopf | Metall | |
| Teller | FKM (Viton®) | ||
| Einbaulage | Beliebig | ||
| Steuerventil | 24 VDC, 5.4 W (andere auf Anfrage) | ||
| Lagemelder: Schaltleistung | Spannung | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
| Strom | ≤ 2 A | ≤ 1.2 A | |
| Ventilstellungsanzeige | Visuell (Mechanisch) | ||
