Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung
Die Steuerung der in der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung eingesetzten Vakuumumgebung erfordert hochpräzise Vakuumventi...
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20.3 Klappenventil mit VATTERFLY
Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen
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Die kompakte, wirtschaftliche Alternative zu herkömmlichen Schieberventilen
Das Kernelement der 20.3 VATTERFLY-Ventile ist die spezielle VATTERFLY -Technologie. Der VATTERFLY-Schließmechanismus arbeitet deutlich anders als die herkömmliche Klappenventil-Technologie. Während des Schließvorgangs bewegt sich der Teller ohne jeglichen Kontakt mit dem Ventilkörper, wodurch jedes Risiko einer potenziellen Freisetzung von Partikeln, z. B. von Partikeln, die sich aus Gasnebenprodukten angesammelt haben, vermieden wird. Für zusätzliche Sicherheit kann die Mechanik in der offenen und geschlossenen Position ähnlich wie ein Schieber mechanisch verriegelt werden.
Diese Eigenschaften machen das 20.3 besonders geeignet für Absperrungsanforderungen in kontaminierenden und aggressiven Prozessen. Getestet in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen hat die Baureihe 20.3 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen.
Die 20.3 VATTERFLY-Ventile sind in einer kompakten Standardgehäuseversion erhältlich, bei der die Tellerdrehung durch ein verlängertes Gehäuse auf der Abströmseite abgedeckt wird.
Die Ventile sind in den Größen DN 63 - 200mm (2½" - 8") mit Ventilgehäusen aus Edelstahl oder Aluminium erhältlich. Beide Versionen werden standardmäßig mit ISO-KF- oder CF-F-Flanschen geliefert, aber auch andere Flansche sind möglich. Der Antrieb ist doppeltwirkend pneumatisch mit einem 24 VDC-Steuerventil, auch andere Spannungen sind möglich.
Hauptmerkmale des 20.3 VATterfly-Ventil
Merkmale:
- Geringes Niveau der Partikelfreisetzung
- Resistenz gegen Prozessverschmutzung
- Mechanische Verriegelung in offener und geschlossener Position
Vorteile:
- Hohe Verfügbarkeit in verschmutzenden und aggressiven Prozessen
- Zuverlässiger Betrieb
- Geringere Betriebskosten im Vergleich zu herkömmlichen Schieberlösungen
Technische Daten
| Grössen | DN 63 (2 ½"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend | |
| Gehäusewerkstoff | Aluminium oder nichtrostender Stahl | ||
| Durchführung | Drehdurchführung | ||
| Standard Flansche | ISO-F, CF-F | ||
| Dichheit | Ventilgeh | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| Valve Seat | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| Druckbereich | 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) | ||
| Differenzdruck am Teller | in Öffnungsrichtung | ≤ 1.2 bar | |
| in Schliessrichtung | ≤ 1.6 bar | ||
| Differenzdruck beim Öffnen | ≤ 500 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | 100 000 | ||
| Temperatur | Ventilgehäuse | ≤ 120 °C (150 °C optional) | |
| Antrieb | ≤ 120 °C | ||
| Steuerventil | ≤ 50 °C | ||
| Lagemelder | ≤ 80 °C | ||
| Werkstoff | Aluminium Ventilgehäuse, Teller | EN AW-6060 (3.3206), AW-6061 (3.3211), AW-6063 (3.3206), AW-6082 (3.2315) | |
| Nichtrostender Stahl Ventilgehäuse, Teller | AISI 304 (1.4301) | ||
| Mechanik | AISI 316L (1.4435), AISI 304 (1.4301) | ||
| Stützring: Standard | POM | ||
| Stützring: 150 °C Option | PEEK | ||
| Dichtung | Kopf, Teller, Durchführung | FKM (Viton®) | |
| Einbaulage | Beliebig | ||
| Steuerventil | 24 VDC, 7.6 W (andere auf Anfrage) | ||
| Lagemelder: Schaltleistung | Spannung | ≤ 50 V AC / DC | |
| Strom | ≤ 0.5 A | ||
| Leistung | max. 10 W | ||
