Substrattransfer
Halbleiter werden in mehreren Schritten in speziell dafür ausgelegten Prozesskammern produziert. Beim Transfer von einer Prozesskammer zur anderen spi...
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Zuverlässige Isolation für korrosive Prozessumgebungen
Das 04.2 HV-Transferventil ist besonders für korrosive Prozesse wie Ätzen oder CVD geeignet. Die L-VAT-Technologie ermöglicht eine J-Bewegung des Tellers durch nur einen pneumatischen Antrieb. Bei einer J-Bewegung wird der Teller vertikal in die Schließposition bewegt - ohne Kontakt zum Ventilgehäuse - und in der Endbewegung horizontal an den Tellersitz geführt, wobei die Dichtung mit einer festen Kraft, in Relation zum Luftdruck, auf den Tellersitz gepresst wird.
Die Teller sind mit vulkanisierten Dichtungen ausgestattet, um eine Partikelfreisetzung und -aktivierung zu minimieren. Vulkanisierte Dichtungen sind, im Vergleich zu O-Ringen, eine sehr zuverlässige und langlebigere Dichtungslösung. Darüber hinaus ist die Schiebedurchführung mit hochbeständigen, Metall-Membranbälgen abgedichtet.
Bei Stromausfall kann das 04.2 durch ein optionales Rückschlagventil in der Geschlossen- und Offen-Stellung pneumatisch verriegelt werden.
Das 04.2 HV-Transferventil mit L-VAT ist für einen langen wartungsfreien Betrieb ausgelegt (≤ 3 Millionen Zyklen bis zur ersten Wartung).
Die 04.2 Baureihe wurde bereits in hunderten von anspruchsvollen Anwendungen in verschiedenen Halbleiterproduktionsprozessen installiert und hat ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design sowie einer reduzierten und einfachen Wartung überzeugt die 04.2 Baureihe in allen Belangen.
Die 04.2 HV-Transferventile mit L-VAT werden immer nach Kundenwunsch gefertigt. Dennoch sind vier Grundbauformen vordefiniert: Zwei Ventiltypen mit unterschiedlichen rückseitigen Öffnungen und zwei Insertypen mit Innen- oder Außenkammer-Ventilsitz.
Das Ventilgehäuse ist wahlweise aus Aluminium, harteloxiert oder vernickelt. Teller- und Kopfdichtungen sind aus FKM oder FFKM. Andere Dichtungsmaterialien sind auf Anfrage erhältlich.
Hauptmerkmale des 04.2 HV-Transferventil mit L-VAT
Mekrmale:
- Zuverlässiger Betrieb unter korrosiven Prozessbedingungen
- Sanfte, stoßarme Bewegung
- L-VAT-Technologie zur Vermeidung von Partikelfreisetzung und -aktivierung
- Balggedichtete Schiebedurchführung
- Verlängerte wartungsfreie Betriebszeit
Vorteile:
- Hohe Verfügbarkeit / uneingeschränkte Leistung
- Schnelle Bewegung
- Geringe Betriebskosten
Technische Daten
| Grössen | 46 x 236 mm bis 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" bis 1.97" to 13.23") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend mit Lagemelder | |
| Gehäusewerkstoff | Aluminium | ||
| Durchführung | Balg | ||
| Dichheit | Ventilkörper | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| Druckbereich | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs) | ||
| Differenzdruck | am Teller | ≤ 1.2 bar | |
| beim Öffnen | ≤ 30 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | ≥ 3 Millionen | ||
| Temperatur | Ventilkörper | ≤ 50 °C - ≤ 120 °C | |
| Teller | ≤ 50 °C - ≤ 120 °C | ||
| Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 40 °C h-1 | ||
| Temperaturdifferenz Sitz/Teller | < 40 °C | ||
| Werkstoff | Aluminium Ventilgehäuse/Teller | EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) | |
| Balgendstücke, Stange | AISI 316L (1.4435) | ||
| Balg | AISI 633 (AM 350) | ||
| Dichtung | Kopf | FKM (Viton®) | |
| Teller | FKM (Viton®) | ||
| Einbaulage | Antrieb unten | ||
| Impulssteuerventil | 24 VDC, 2.5 W (andere auf Anfrage) | ||
| Lagemelder: Schaltleistung | Spannung | ≤ 50 VDC | |
| Strom | ≤ 250 mA | ||
| Leistung | ≤ 10 W | ||
| Anschluss | 9 pin subminiature D | ||
| Druckluftanschluss | Ohne Steuerventil | Internal Threads ⅛“ ISO/NPT | |
| Mit Steuerventil | Internal Threads M5 | ||
