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04.3 HV-Transferventil mit L-MOTION
Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse
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Zuverlässige Isolierung mit gleichmäßiger Teller-Kompression
Das 04.3 HV-Transferventil mit L-Motion Technologie sind besonders geeignet für korrosive Prozesse wie z. B. Ätzen oder CVD. Die L-Motion-Technologie ermöglicht L-Bewegung des Tellers durch nur einen pneumatischen Antrieb. Bei dieser L-Bewegung wird der Teller über den Langhubzylinder in die „Optisch-Geschlossen-Position“ bewegt - ohne Kontakt zum Ventilgehäuse - und in der Endbewegung über den Kurzhubzylinder an den Tellersitz gepresst. Die Tellerdichtung berührt dabei in allen Bereichen gleichzeitigt den Tellersitz, mit genau dem gleichen Anpressdruck. Dies vermeidet nicht nur jegliche Reibung und damit mögliche Partikelbildung, sondern minimiert auch den Verschleiß der Dichtung.
Die Teller sind mit vulkanisierten Dichtungen ausgestattet, um eine Partikelfreisetzung und -aktivierung weiter zu minimieren. Vulkanisierte Dichtungen sind, im Vergleich zu O-Ringen, eine sehr zuverlässige und langlebigere Dichtungslösung. Darüber hinaus ist die Schiebedurchführung mit hochbeständigen, geschweißten Metallfaltenbälgen abgedichtet.
Um eine gleichmäßige Dichtungsqualität über die gesamte Länge des Tellers zu gewährleisten, ist der Teller mit einem speziellen Druckbalken ausgestattet. Der Druckbalken garantiert eine gleichmäßige Verteilung des Druckes in jedem Bereich des Tellers.
Bei Stromausfall kann das 04.3 in der Schließstellung pneumatisch verriegelt werden.
Das 04.3 HV-Transferventil mit L-Motion ist für einen langen wartungsfreien Betrieb ausgelegt (bis zu ≤ 3 Millionen Zyklen bis zur ersten Wartung).
Die 04.3 Baureihe wurde bereits in hunderten von anspruchsvollen Anwendungen in verschiedenen Halbleiterproduktionsprozessen installiert und hat ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design sowie einer reduzierten und einfachen Wartung überzeugt die 04.3 Baureihe in allen Belangen.
Ventil 04.3
Das 04.3 HV-Transferventil mit L-Motion wird stets nach Kundenwunsch gefertigt. Dennoch sind vier Grundbauformen vordefiniert: zwei Ventiltypen mit unterschiedlichen rückseitigen Öffnungen und zwei Inserttypen mit Innen- oder Außenkammer-Ventilsitz.
Als Material für das Ventilgehäuse stehen Aluminium, hartanodisiert oder vernickelt sowie Edelstahl zur Verfügung. Die Teller- und Kopfdichtungen sind aus FKM oder FFKM. Andere Dichtungsmaterialien sind auf Anfrage erhältlich.
Hauptmerkmale des
04.3 HV-Transferventil mit L-Motion
Merkmale:
- Zuverlässiger Betrieb unter korrosiven Prozessbedingungen
- L-Motion-Technologie zur Vermeidung von Partikelfreisetzung und -aktivierung
- Druckleiste für gleichmäßige Tellerdruckverteilung
- Balggedichtete Schiebedurchführung
- Verlängerte wartungsfreie Betriebszeit
- Leichtgängige, erschütterungsarme Bewegung
Vorteile:
- Hohe Betriebszeit / uneingeschränkte Leistung
- Schneller Betrieb
- Geringe Betriebskosten
Technische Daten
| Grössen | 50 x 336 mm to 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" to 3.15" x 19.69") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend mit Lagemelder | |
| Gehäusewerkstoff | Aluminium oder Aluminium hartanodisiert | ||
| Durchführung | Balg | ||
| Dichheit | Variiert je nach Werkstoff | ||
| Druckbereich | Metall, blank oder vernickelt | 1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs) | |
| Aluminium, hartanodisiert | 1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (abs) | ||
| Differenzdruck | am Teller | 1.1 bar | |
| beim Öffnen | ≤ 30 mbar | ||
| Zyklen bis zu ersten Wartung | ≥ 3 Millionen | ||
| Temperatur | Ventilkörper, Teller | ≤ 120 °C | |
| Antrieb | ≤ 80 °C | ||
| Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 40 °C h-1 | ||
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller, Servicedeckel | EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) | |
| Balgendstücke,Stange | AISI 316L (1.4404) | ||
| Balg | AISI 633 (AM 350) | ||
| Dichtung | Teller, Servicedeckel | FKM (Viton®) | |
| Einbaulage | Antrieb oben oder unten | ||
| Impulssteuerventil | 24 VDC, 2.5 W (andere auf Anfrage) | ||
| Lagemelder: Schaltleistung | Spannung | ≤ 50 V AC/DC | |
| Strom | ≤ 0.1 A | ≤ 5 mA | |
| Anschluss | 9-polig, Subminiatur D | ||
| Druckluftanschluss | Schnellanschluss O.D. 6 mm | ||
