Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung
Die Steuerung der in der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung eingesetzten Vakuumumgebung erfordert hochpräzise Vakuumventi...
Lesen Sie mehr
05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION
Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse
Produkt spezifizieren
Zuverlässige Isolierung mit gleichmäßiger Teller-Kompression
Das 05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-Motion Technologie ist besonders geeignet für korrosive Prozesse wie z. B. Ätzen oder CVD. Die L-Motion-Technologie ermöglicht L-Bewegung des Tellers durch nur einen pneumatischen Antrieb. Bei dieser L-Bewegung wird der Teller über den Langhubzylinder in die „Optisch-Geschlossen-Position“ bewegt - ohne Kontakt zum Ventilgehäuse - und in der Endbewegung über den Kurzhubzylinder an den Tellersitz gepresst. Die Tellerdichtung berührt dabei in allen Bereichen gleichzeitigt den Tellersitz, mit genau dem gleichen Anpressdruck. Dies vermeidet nicht nur jegliche Reibung und damit mögliche Partikelbildung, sondern minimiert auch den Verschleiß der Dichtung.
Die Teller sind mit vulkanisierten Dichtungen ausgestattet, um eine Partikelfreisetzung und -aktivierung weiter zu minimieren. Vulkanisierte Dichtungen sind, im Vergleich zu O-Ringen, eine sehr zuverlässige und langlebigere Dichtungslösung. Darüber hinaus ist die Schiebedurchführung mit hochbeständigen, geschweißten Metallfaltenbälgen abgedichtet.
Um eine gleichmäßige Dichtungsqualität über die gesamte Länge des Tellers zu gewährleisten, ist der Teller mit einem speziellen Druckbalken ausgestattet. Der Druckbalken garantiert eine gleichmäßige Verteilung des Druckes in jedem Bereich des Tellers.
Bei Stromausfall kann das 05.3 in der Schließstellung pneumatisch verriegelt werden.
Das 05.3 HV-Transfer-Insert mit L-Motion ist für einen langen wartungsfreien Betrieb ausgelegt (bis zu ≤ 3 Millionen Zyklen bis zur ersten Wartung).
Die 05.3 Baureihe wurde bereits in hunderten von anspruchsvollen Anwendungen in verschiedenen Halbleiterproduktionsprozessen installiert und hat ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design sowie einer reduzierten und einfachen Wartung überzeugt die 05.3 Baureihe in allen Belangen.
Insert 05.3
Das 05.3 HV-Transferventil-Insert mit L-Motion wird stets nach Kundenwunsch gefertigt. Dennoch sind vier Grundbauformen vordefiniert: zwei Ventiltypen mit unterschiedlichen rückseitigen Öffnungen und zwei Inserttypen mit Innen- oder Außenkammer-Ventilsitz.
Als Material für das Ventilgehäuse stehen Aluminium, hartanodisiert oder vernickelt sowie Edelstahl zur Verfügung. Die Teller- und Kopfdichtungen sind aus FKM oder FFKM. Andere Dichtungsmaterialien sind auf Anfrage erhältlich.
Hauptmerkmale des 05.3 HV Transfer Insert mit L-Motion
Merkmale:
- Zuverlässiger Betrieb unter korrosiven Prozessbedingungen
- L-Motion-Technologie zur Vermeidung von Partikelfreisetzung und -aktivierung
- Druckleiste für gleichmäßige Tellerdruckverteilung
- Balggedichtete Schiebedurchführung
- Verlängerte wartungsfreie Betriebszeit
- Leichtgängige, erschütterungsarme Bewegung
Vorteile:
- Hohe Betriebszeit / uneingeschränkte Leistung
- Schneller Betrieb
- Geringe Betriebskosten
Technische Daten
| Grössen | 50 x 336 mm to 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" to 3.15" x 19.69") | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend mit Lagemelder | |||
| Gehäusewerkstoff | Aluminium oder Aluminium hartanodisiert | ||||
| Durchführung | Balg | ||||
| DICHTUNGSTECHNIK | L-MOTION (siehe Glossar) | ||||
| LECKRATE AN VENTILGEHÄUSE UND VENTILSITZ IN MBAR LS-1 | Dichtungsfläche | Dichtung | |||
| FKM Gehäuse |
Sitz |
FFKM (FKM Zalak 5100) Gehäuse |
Sitz |
||
| Blankes Metall (gefräst / kugelpoliert) | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-8 | < 1 × 10-7 | |
| Hartanodisierties Aluminium | < 1 × 10-5 | < 1 × 10-4 | < 1 × 10-5 | < 1 × 10-4 | |
| Nickelbeschichtetes Aluminium | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-8 | < 1 × 10-7 | |
| Druckbereich | Metall, blank oder vernickelt | 1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs) | |||
| Aluminium, hartanodisiert | 1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (abs) | ||||
| DIFFERENZDRUCK AM SCHIEBER | 1.1 bar | ||||
| DIFFERENZDRUCK BEIM ÖFFNEN | ≤ 30 mbar | ||||
| Zyklen bis zu ersten Wartung | ≥ 3 Millionen (bis DN 50 × 336 mm) ≥ 2 Millionen (DN 80 × 500 mm) |
||||
| Temperatur | Ventilkörper, Teller | ≤ 120 °C | |||
| Antrieb | ≤ 80 °C | ||||
| Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 40 °C h-1 | ||||
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller, Servicedeckel | EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) | |||
| Balgendstücke,Stange | AISI 316L (1.4435, 1.4404) | ||||
| Balg | AISI 633 (AM 350) | ||||
| Dichtung | Teller, Servicedeckel | FKM | |||
| Einbaulage | Antrieb oben oder unten | ||||
| Impulssteuerventil | 24 VDC, 2.5 W (andere auf Anfrage) | ||||
| Lagemelder: Schaltleistung | Spannung | ≤ 50 V AC/DC | |||
| Strom | ≤ 0.1 A | > 5 mA | |||
| Anschluss | 9-polig, Subminiatur D | ||||
| Druckluftanschluss | Schnellanschluss O.D. 6 mm | ||||
