Prozesssteuerung und Prozessisolation
Die hochpräzise Regelung und Isolation von Vakuum- und Gasströmen ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich. Sowohl im Upstream- als auch im Downstr...
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61.6 HV-Regel- und Isolations-Klappenventile
Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung und -Absperrung
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Herausragende Leistung unter allen Bedingungen
Die Baureihe 61.6 bietet eine herausragende Druckregelung und Absperrleistung. Mit einer schnell und präzise wirkenden Bewegungssteuerung (0,45 s) ist das 61.6 die perfekte Lösung für die Feinregelung und Absperrung in CVD-Prozessen. Der Teller wirkt als Drosselelement und variiert den Leitwert der Ventilöffnung. Der integrierte Druckregler des 61.6 errechnet die erforderliche Tellerposition um den eingestellten Druck so schnell wie möglich zu erreichen.
Die Absperrfunktion der Serie 61.6 wurde speziell entwickelt, um den charakteristischen höheren Dichtungsverschleiß von Absperrklappen zu vermeiden. Mit ihrer außermittigen Tellerwelle und der speziellen Geometrie von Ventilgehäuse und Dichtsitz wird die Dichtungsreibung minimiert und die Dichtungsleistung erhöht.
Bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 61.6 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design und der Möglichkeit zur Direktmontage (ohne Flansche) sowie einer reduzierten und einfachen Wartung überzeugt die Baureihe 61.6 in allen Belangen.
Vielfältige Auslegungsmöglichkeiten bei Gehäusematerial, Oberflächenbehandlung, Elastomeren, Flanschanschlüssen, Dichtungsmaterial, Sondergrößen sowie spezielle Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, downstream/soft pump) vereinfachen die Integration der Baureihe 61.6 in unterschiedlichste Vakuumanwendungen.
61.6 HV-Regel- und Isolations-Klappenventile sind in Aluminium oder Edelstahl mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-KF und ISO-F erhältlich. Kundenspezifische Flansche können integriert werden, ebenso wie Sonderausstattungen wie z. B. integrierte Heizung mit Isolierung. Einige FFKM/FKM-Elastomere sind auf Anfrage erhältlich (FKM ist Standard).
Hauptmerkmale des 61.6 HV-Regel- und Isolations-Klappenventil
Merkmale:
- Hervorragende Druckregelung und Absperrung
- Sehr schnelle Bewegung
- „On-board“-Software für lokalen Betrieb
- Zuverlässiger Betrieb unter rauen Prozessbedingungen
Vorteile:
- Bessere Steuerbarkeit des Prozesses
- Hohe Verfügbarkeit / unbeschränkte Leistung
- Niedrige Betriebskosten
- Technische Daten
- Downloads
| Grössen |
DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("), |
|
|---|---|---|
| Antrieb | Integrierter Steuerung mit Schrittmotor, feldorientierte Steuerung | |
| Gehäusewerkstoff | Harteloxiertes Aluminium oder Edelstahl | |
| Standard Flansche | ISO-KF, ISO-F | |
| Dichheit: Ventilgehäuse | Harteloxiertes Aluminium Edelstahl |
< 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Dichtheit: Ventilsitz | Harteloxiertes Aluminium Edelstahl |
< 1 × 10-4 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich | Harteloxiertes Aluminium Edelstahl |
< 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) |
| Zyklen bis zur ersten Wartung1) | Druckregelung Absperrung |
2 Millionen 250 000 (DN 40 - 50) 100 000 (DN 63 - 100) |
| Temperatur | Ventilgehäuse Controller |
≤ 120 °C Max. 50°C (≤ 35 °C empfohlen) |
| Werkstoff | Alu-Ventilkörper/Teller SS Ventilkörper/Stange |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 or 1.4435) |
| Dichtung | Teller Durchführung |
FKM FKM |
| Durchführung | Drehdurchführung | |
| EInbaulage | Ventilsitz zur Kammer |
1) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen
