Prozesssteuerung und Prozessisolation
Die hochpräzise Regelung und Isolation von Vakuum- und Gasströmen ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich. Sowohl im Upstream- als auch im Downstr...
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Zuverlässige und präzise Steuerung für Standard-Vakuum-Prozesse
Der 64.2 HV-Regelschieber ist für die zuverlässige, präzise Regelung und Absperrung in hochzyklischen Vakuumprozessen wie Sputter- oder Ätzprozessen in der Halbleiterproduktion konzipiert. Er erfüllt die Standardanforderungen an Langlebigkeit, Modularität und Wartungsfreundlichkeit mit besonderem Fokus auf hohe Verfügbarkeit und niedrige Betriebskosten.
Der Regelschieber ist mit der VATLOCK-Technologie ausgestattet, die eine zuverlässige Abdichtung ohne jegliche Reibung an der Tellerdichtung ermöglicht. Der Teller wirkt als Drosselelement und variiert den Leitwert der Schieberöffnung. Der integrierte Druckregler errechnet die erforderliche Tellerposition, um den definierten Solldruck zu erreichen. Ein Schrittmotor führt die Bewegung aus und ein Encoder überwacht die Position des Tellers. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung. Der spezielle VATLOCK-Schließmechanismus garantiert eine dichte Absperrung in Verbindung mit einer ausfallsicheren Verriegelung. D .h. auch bei Stromausfall bleibt der Schieber hermetisch dicht geschlossen.
Bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat der 64.2 seine herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit seiner robusten Konstruktion erfüllt er alle Anforderungen an einen Vakuumregelschieber für hohe Zykluszahlen.
Um eine optimale Integration in unterschiedlichste Vakuumanwendungen zu gewährleisten, ist der 64.2 HV-Regelschieber in verschiedenen Auslegungsvarianten erhältlich, einschließlich Optionen in Dichtungsmaterial, Flanschanschlüssen, Anschlüssen für Grobevakuierung, Entlüftung oder Messgeräte sowie speziellen Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, Downstream/soft-pump).
Wenn für den Einbau des 64.2 nur ein sehr begrenzter Platz zur Verfügung steht, können Antrieb und Controller in verschiedenen Positionen auf dem Schiebergehäuse montiert werden. Darüber hinaus kann der Controller vom Schieberantrieb getrennt installiert werden.
Die Baureihe ist in Größen von DN 100 – 400 mm (4" - 16") erhältlich.
Hauptmerkmale des 64.2 HV-Regelschieber
Merkmale:
- Zuverlässige, bewährte Konstruktion
- VATLOCK-Technologie
- Robustes Gehäuse aus Edelstahl
- Geeignet für hohe Taktzahl
Vorteile:
- Zuverlässige und präzise Steuerung und Absperrung
- Verlängerter wartungsfreier Betrieb
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| Grössen | DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16") |
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|---|---|---|
| Antrieb | Integrierter Druckregler mit Schrittmotor | |
| Gehäusewerkstoff | Nichtrostender Stahl | |
| Durchführung | Drehdurchführung | |
| Standard Flansche | ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS | |
| Dichtheit | Ventilkörper, Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich | DN 100 – 200 DN 250 – 400 |
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) |
| Differenzdruck am Teller (Geschlossen) | DN 100 – 200 DN 250 – 400 |
≤ 2 bar ≤ 1.2 bar |
| Differenzdruck beim Öffnen | ≤ 30 mbar | |
| Zyklen bis zur ersten Wartung1) | Druckregelung Schliessen / Öffnen |
1 Million 200 000 |
| Temperatur | Ventilgehäuse Controller |
≤ 150°C max. 50°C (≤ 35 °C empfohlen) |
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller | AISI 304 (1.4301) |
| Mechanik | AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301), AISI 420 (1.4034), AISI 420D (1.4037), AISI 430 (1.4016) |
|
| Dichtung | Kopf, Teller, Durchführung | FKM (Viton®) |
| Einbaulage | DN 100 – 350 DN 400 |
Beliebig Horizontal |
| Ventilstellungsanzeige | Visuell (Mechanisch und auf Steuerung) |
1) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen