Das 16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil bietet eine zuverlässige Isolationsleistung in Kombination mit einer geringen Partikelanzahl und einer geringen Partikelaktivierung. Die ausgezeichnete Partikelleistung wird durch eine außergewöhnlich sanfte Öffnungs- und Schließbewegung erreicht.
Es ist ideal für Isolationsanforderungen in rauen Prozessen, wie z.B. in Evaporator- und Sputter-Anwendungen. Das 16.2-Ventil bietet eine pneumatische, einfachwirkende 3-Stellungsvariante mit Schließfeder oder eine pneumatische, einfachwirkende Standard-Variante mit Schließfeder.
Durch sein spezielles geteiltes Gehäusedesign ermöglicht es die Wartung ohne Demontage von Rohrverbindungen oder Prozesskammeranschlüssen. Seine schlanke Bauform ermöglicht es, das 16.2 direkt an eine Prozesskammer zu montieren, wodurch z.B. das normalerweise erforderliche Volumen einer Kammer-Ventil-Pumpenverbindung entfällt.
Mit seinem robusten Design sowie einer Vielzahl von Ausführungsoptionen lässt sich die 16.2 Baureihe leicht in verschiedene Vakuumprozesse integrieren.
Bereits in hunderten von Batch- und Inline-Produktionssystemen weltweit unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat die 16.2 Baureihe ihre hervorragende Leistung in allen Aspekten bewiesen.
Das 16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil ist in Aluminium, das Gehäuse harteloxiert oder vernickelt mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-F, ASA-LP und JIS erhältlich. Kundenspezifische Flansche können integriert werden. Weitere Optionen sind Anschlüsse zum Grobevakuieren, Entlüften oder für Messgeräte, Heizlösung sowie ein Fenster im Teller aus Borosilikat- oder Saphirglas.
Merkmale:
Vorteile:
| Grössen | DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 500 (20") |
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|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Einfachwirkend mit Schliessfeder (NC) |
| 3-Stellungs-Pneumatikantrieb | Einfachwirkend mit Schliessfeder (NC) | |
| Gehäusewerkstoff | Aluminium | |
| Durchführung | Drehdurchführung | |
| Standardflansche | ISO-F, ASA-LP, JIS | |
| Dichheit | Ventilgehäuse, Ventilsitz | < 1 × 10-8 mbar ls-1 |
| Druckbereich | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) | |
| Differenzdruck am Teller | ≤ 1.2 bar | |
| Differenzdruck beim Öffnen | DN 200 DN 250 - 500 |
≤ 10 mbar ≤ 5 mbar |
| Zyklen bis zur ersten Wartung | 200 000 | |
| Temperatur | Ventilgehäuse Antrieb Steuerventil Lagemelder |
≤ 120 °C ≤ 80 °C ≤ 50 °C ≤ 80 °C |
| Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 30 °C h-1 | |
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller, Dichtring DN 200-400 DN 500 Durchführung (mediumberührende Teile) |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6082 (3.2315) EN AC-42100 (3.2371) AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) |
| Dichtung | Kopf, Teller, dynamisch, Durchführung | FKM (Viton®) |
| Einbaulage | Beliebig | |
| Steuerventil | 24 V DC, 5.4 W (andere auf Anfrage) | |
| Lagemelder: Schaltleistung | Spannung Strom |
≤ 50 V AC/DC ≤ 1.2 A |
| Ventilstellungsanzeige | Visuell (mechanisch) |
