Display-Trockenätzung
Typischerweise wird beim Trockenätzen ein maskiertes Muster aus Halbleitermaterial durch einen Ionenbeschuss (meist ein Plasma aus reaktiven Gasen) en...
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65.3 HV-Pendel-Regelventil
Optimierte Downstream-Druckregelung und -Vakuumisolation in SEMI- und Display-Systemen
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Für maximierte Produktivität
Das 65.3 HV-Regel-Pendelventil setzt neue Maßstäbe in der Downstream- Druckregelung und Absperrung. Speziell für die Halbleiter- und Display-Produktion entwickelt, bietet es ein Höchstmaß an Regelbarkeit über ein breites Leitwertspektrum. Das 65.3 bietet eine verbesserte Funktionskontrolle durch seinen E-Motor mit integrierter Positionsregelung. Der Antriebscontroller bietet ein neues Maß an Steuerbarkeit durch seine höhere 32-Bit-Datenverarbeitungskapazität. Jede Position des Pendeltellers kann dadurch sehr schnell, feinstufig und sehr präzise angesteuert werden. Dies erlaubt eine sehr genaue Druckregelung mit sehr kurzer Reaktionszeit. Die voreingestellte Bewegungssequenz des Ventils kann in Geschwindigkeit und Verlauf an individuelle und wechselnde Prozessparameter angepasst werden.
Das 65.3 HV-Regel-Pendelventil besticht auch durch seine herausragenden Eigenschaften in der Vermeidung von Partikelfreisetzungen. Eine optimierte, gedämpfte Schließbewegung des Tellers vermeidet jegliche Stöße und Vibrationen, wie sie bei konventionellen Ventilen üblich sind. Das 65.3 schließt so sanft, dass das Schließen und Öffnen fast nicht wahrnehmbar ist. Die äußerst präzise mechanische Führung des Tellers garantiert eine berührungsfreie Gasflussregelung in der Pendelbewegung und eine in allen Bereichen gleichmäßige hermetische Dichtung in der Dichtbewegung.
Bereits in hunderten von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat das 65.3 HV-Regel-Pendelventil seine herausragende Zuverlässigkeit und Leistung bewiesen. Das 65.3 ist auch ideal zur Nachrüstung bestehender Systeme geeignet.
Das 65.3 HV-Regel-Pendelventil ist in den Größen DN 100 – 350 mm (4" – 14") in Aluminium blank oder harteloxiert verfügbar, mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-F und JIS. Kundenspezifische Flansche können ebenso integriert werden, wie auch eine Direktmontagemöglichkeit. Standard-Dichtungsmaterial ist FKM, andere Materialien auf Anfrage.
Für den Controller stehen spezielle Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, Upstream, Soft-Pump) zur Verfügung. Verschiedene Standard-Anschlüsse am Controller ermöglichen einen einfachen Zugriff über einen PC oder eine Verbindung zu einer PCU. Eine spezielle Control-Performance-Analyzer (CPA)-Software erlaubt eine einfache Kalibrierung des 65.3 sowie eine vereinfachte Wartungsplanung.
Hauptmerkmale des 65.3 HV-Pendel-Regelventil
Merkmale:
- Schnelle und Präzise Druckregelung
- Schockfreier Betrieb: Keine Partikelaktivierung
- Erhöhte Prozessstabilität: Alle Durchflüsse und Drücke werden geregelt
- Integrierter 32-Bit-Druckregler (IC2) mit Control Performance Analyzer (CPA)
- "Plug and Play"-Nachrüstung: Kein Abdocken und kein Ausrichten
Vorteile:
- Herausragende Zuverlässigkeit, Präzision und Schnelligkeit
- Verlängerter Wartungszyklus
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| Grössen | DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14") |
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|---|---|---|---|
| Antrieb | Schrittmotor mit integriertem Druckregler | ||
| Gehäusewerkstoff | Aluminium blank oder hartanodisiert | ||
| Durchführung | Antrieb Dichtungsring |
Drehdurchführung Schiebedurchführung |
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| Standard Flansche | ISO-F, JIS | ||
| Dichheit Ventilgehäuse | Aluminium Aluminium hart anodisiert |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1 |
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| Dichheit Ventilsitz | Aluminium Aluminium hart anodisiert |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1 |
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| Druckbereich | Aluminium Aluminium hart anodisiert |
1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs) |
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| Zyklen bis zur ersten Wartung1) | Druckregeln Schliessen / Öffnen |
1 Million 200 000 |
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| Temperatur | Ventilgehäuse Controller |
≤ 120 °C Max. 50°C (≤ 35 °C empfohlen) |
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| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller | EN AW-6061 (3.3211) | |
| Dichtungsring | EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) |
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| Sonstige Teile | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) |
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| Dichtung | Kopf, Teller, Durchführung | FKM (Fluoroelastomer) | |
| EInbaulage | Beliebig | ||
1) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen
