Prozesssteuerung und Prozessisolation
Die hochpräzise Regelung und Isolation von Vakuum- und Gasströmen ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich. Sowohl im Upstream- als auch im Downstr...
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65.5 HV-Pendel-Regelventil
Ideal für korrosive Ätzanwendungen mit hohem Prozessdruck und geringen Volumenströmen
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Herausragend hohes Leitwertspektrum
Das 65.5 HV-Pendelregelventil bietet ein herausragend hohes, steuerbares Leitwertspektrum. Durch seine sanfte Öffnungs- und Schließbewegung vermeidet es die Freisetzung und Aktivierung von Partikeln in außergewöhnlicher Weise.
Das Ventil wurde speziell für raue Prozesse wie z. B. korrosive Ätz- und Reinigungsanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt, bei denen ein hochgradig steuerbares Leitwertspektrum mit geringem anfänglichem steuerbarem Leitwert erforderlich ist.
Das 65.5 wird in DN 250 mm (10") angeboten und regelt bis zu einem Mindestleitwert von nur 2 l s-1. Leitwerterhöhungen können aufgrund der Datenverarbeitungsmöglichkeiten des 32-Bit-Antrieb-Controllers sehr feinfühlig gesteuert werden. Außerdem ermöglicht er eine schnellere Ansteuerung, da Sensor- und Steuerbefehle schneller verarbeitet werden als bei einem entsprechenden 16-Bit-Controller. Verschiedene Standard-Port-Anschlüsse am Controller ermöglichen einen einfachen Zugriff über einen PC oder eine Verbindung zu einer Prozess-Steuereinheit (PCU).
Der Pendelmechanismus wurde sehr robust konstruiert, um sicherzustellen, dass er gegen jegliche Bestandteile im Gasfluss resistent ist. Um den Dichtungsverschleiß zu reduzieren und die Partikelfreisetzung sowie die Partikelaktivierung zu vermeiden, ist die Öffnungs- und Schließbewegung geteilt. Der erste Grad der Leitfähigkeit wird durch eine vertikale Bewegung vom Tellersitz weg erreicht und die spätere Erhöhung der Leitfähigkeit wird durch eine horizontale Bewegung des Pendeltellers erreicht. Durch die feine Steuerbarkeit der Tellerbewegung kann der voreingestellte Bewegungsablauf sehr feinfühlig an die Prozessanforderungen angepasst werden. Um ein dichtes Schließen zu gewährleisten, wird der Teller mit einer speziellen, patentierten Torsionsstab an den Tellersitz gepresst. Dadurch wird ein gleichmäßiger Dichtdruck in allen Bereichen der Tellerdichtung erreicht.
Durch die kompakte Bauweise und die Möglichkeit der Direktmontage sowie eine Vielzahl weiterer Ausführungsvarianten lässt sich die Baureihe 65.5 leicht in verschiedene Vakuumprozesse integrieren.
Das 65.5 HV-Pendelregelventil ist in blankem oder hartanodisiertem Aluminium mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-F und JIS erhältlich. Kundenspezifische Flansche können ebenso integriert werden wie eine Heizung für Ventil-Betriebstemperaturen bis zu 120°C.
1. Teller
2. Antriebsschaft
3. Zweiachsiger Antrieb
4. Dichtung Antriebsdurchführung
5. Tellerdichtung
Hauptmerkmale des 65.5 HV-Pendelregelventils
Merkmale:
- Zuverlässige Isolierung in rauer Prozessumgebung
- Schockarmer Betrieb, geringe Partikelaktivierung
- Prozessinert - sehr geringe Restausgasung (RGA)
- Schneller, einstellbarer Bewegungsablauf
- On-board Druckregler
- Nur eine elektrische Stromquelle erforderlich mit optionalem Sensor-Netzteil
Vorteile:
- Außergewöhnliche Leistung bei der Druckregelung
- Schneller, nahezu partikelfreier Betrieb
- Einstellbar auf Prozessanforderungen
Technische Daten
| Grössen | DN 250 (10") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Integrierter Druckregler mit Servoantrieb | ||
| Gehäusewerkstoff | Aluminium oder Aluminium hartanodisiert | ||
| Durchführung | Drehdurchführung | ||
| Standard Flansche | ISO-F, JIS | ||
| Dichheit Ventilgehäuse | Aluminium blank Aluminium Hartanodisiert |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1 |
|
| Dichheit Ventilsitz | Aluminium blank Aluminium Hartanodisiert |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1 |
|
| Druckbereich | Aluminium blank Aluminium Hartanodisiert |
1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs) |
|
| Zyklen bis zur ersten Wartung1) | Druckregeln Schliessen / Öffnen |
2 Millionen 50 000 |
|
| Temperatur | Ventilgehäuse Controller |
≤ 120 °C Max. 50 °C (≤ 35 °C empfohlen) |
|
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller | EN AW-6061 (3.2311) T651 | |
| Sonstige Teile | AISI 316L (1.4404, 1.4435) | ||
| Anschlussschraube an Platte | SST A4-80, Ni-PTFE, beschichtet | ||
| Dichtung | Kopf, Teller, Durchführung | FKM (Viton®) | |
| Einbaulage | Beliebig | ||
1) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen