Sputtern
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29.2 HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion
Vermeidet Turbulenzen oder Kondensation, großes Leitwertspektrum (DN 100 - 160)
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Für sensitive Produktionsprozesse bei großen Volumenströmen
Die Hauptanforderung an ein Ventil mit Soft-Pump-Funktion ist die Vermeidung von Turbulenzen beim Öffnen des Ventils, da diese den Produktionsprozess negativ beeinflussen könnten, z.B. durch die ungleiche Verteilung reaktiver Gase oder durch die Verwirbelung von Partikeln. Darüber hinaus könnten schnelle Druckänderungen infolge eines hohen Differenzdrucks beim Öffnen des Ventils plötzliche Kondensationseffekte verursachen, die ebenfalls Prozessparameter nachteilig beeinflussen können. Das 29.2 HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion vermeidet dies.
Die Soft-Pump-Funktion des 29.2 macht es besonders geeignet für große Volumenströme, die über ein größtmögliches Leitwertspektrum präzise kalibriert werden müssen. Das große Leitwertspektrum wird durch die Kombination zweier Hochvakuum-Eckventile erreicht, bei dem das Hauptventil mit einem Bypass-Ventil in einer kompakten Baugruppe zusammenwirkt.
Ein Einstellrad an der Seite des Ventils erlaubt die Feinabstimmung des Soft-Pump-Effekts. Dies ermöglicht eine optimale Kalibrierung auf die gewünschten Prozessparameter, über ein sehr großes Leitwertspektrum.
Um eine einfache und präzise Einstellung sowie eine leichte Rückstellung zu ermöglichen, ist das Einstellrad mit 11 Positionsmarkierungen versehen. Diese erleichtern die Reproduzierbarkeit einer Einstellung sowie das Kopieren der Einstellung auf andere Ventile, die mit der gleichen Einstellung arbeiten sollen.
In dieser Bauweise ist das 29.2 für sein Leistungsspektrum herausragend in punkto Präzision und Kompaktheit. Was in anderen Konfigurationen nur mit mehreren Ventilen und zusätzlicher Verrohrung erreicht werden kann bietet das 29.2 in einer einzigen Lösung.
Für temperaturempfindliche Prozesse, die anfällig für Kondensation sind, kann der 29.2 mit einer integrierten PTC-Heizung ausgestattet werden.
Besonders in anspruchsvollen Anwendungen mit großen Schleusenkammervolumen unter wechselnden Druckbedingungen, wie z.B. bei der Solarzellen- oder Display-Fertigung hat die Baureihe 29.2 ihre hervorragende "weiche" Wirkungsweise bewiesen. Ein positiver Nebeneffekt der Soft-Pump-Funktion: jegliches Impulsgeräusch wird reduziert oder ganz vermieden. Dies führt zu einer ruhigeren Produktions- und Betriebsumgebung.
Das 29.2 HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion basiert auf einer zuverlässigen und robusten Kernkonstruktion, die für einen langen wartungsfreien Betrieb ausgelegt ist. Sollte eine Wartung notwendig sein, so ist diese einfach und schnell zu erledigen.
Unterschiedliche Kombinationen aus Haupt- und Bypass-Ventil zur Verfügung: DN 100 mm mit DN 25 mm Bypass sowie DN 160 mm mit DN 25, DN 40 oder DN 63 mm Bypass. Ferner gibt es zwei Möglichkeiten des pneumatischen Antriebs: einfachwirkend mit Schließfeder (NC) und doppeltwirkend. Das 29.2 ist als Aluminium- oder Edelstahl-Ausführung erhältlich.
Standardoptionen für Flanschanschlüsse sind ISO-KF und ISO-K, aber auch kundenspezifische Flansche können integriert werden. Eine optische Stellungsanzeige sowie ein elektrisches Stellungsausgangssignal sind Standard.
Hauptmerkmale des 29.2 HV-Eckventil mit Softpump-Funktion
Merkmale:
- Einstellbare Soft-Pump-Funktion
- Kombination verschiedener Haupt- und Bypass-Ventile
- Einfache Wiederholbarkeit der Soft-Pump-Einstellungen
- Volle Funktionsfähigkeit auch bei hohem Differenzdruck
Vorteile:
- Vermeidet Turbulenzen oder Kondensation
- Großes, präzise kalibrierbares Leitwertspektrum
- Lange wartungsfreie Betriebszeit
- Schnelle und einfache Wartung
Technische Daten
| Grössen |
DN 100 (4"), DN 160 (6") |
||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Hauptventil: Doppeltwirkend Softpump-Ventil: Einfachwirkend (NC) |
|
| Gehäusewerkstoff | Aluminium oder Nichtrostender Stahl | ||
| Durchführung | Schiebedurchführung | ||
| Standard Flansche | ISO-KF, ISO-K | ||
| Dichheit | Ventilgehäuse | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| Druckbereich | 1 × 10-7 mbar to 2 bar (abs) | ||
| Differenzdruck am Teller | In Öffnungsrichtung | ≤ 1.2 bar | |
| In Schliessrichtung | ≤ 2.0 bar | ||
| Differenzdruck beim Öffnen | ≤ 1 bar | ||
| Temperatur | Ventilgehäuse | ≤ 150 °C | |
| Antrieb | ≤ 80 °C | ||
| Steuerventil | ≤ 80 °C | ||
| Lagemelder | ≤ 80 °C | ||
| Werkstoff | Venilgehäuse Hauptventil: Aluminium | EN AC-42000 | |
| Ventilgehäuse Hauptventil: Nichtrostender Stahl | AISI 304 (1.4301) , AISI 316L (1.4404) | ||
| Soft-Pump Ventil | EN AW-6060 (3.3206), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6063 (3.3206), EN AW-6082 (3.2315) |
||
| Teller | AISI 316L (1.4404, 1.4435) or AISI 304L (1.4306) | ||
| Balg | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 316Ti (1.4571) | ||
| Dichtung | Kopf, Teller | FKM (Viton®) | |
| Einbaulage | Beliebig | ||
| Steuerventil | 24 VDC, 9.0 W (andere auf Anfrage) | ||
| Lagemelder: Schaltleistung | Spannung | 5 – 50 VAC/DC | |
| Strom | 5 – 100 mA | ||
| Ventilstellungsanzeige | Visuell (Mechanisch) | ||
