Prozesssteuerung und Prozessisolation
Die hochpräzise Regelung und Isolation von Vakuum- und Gasströmen ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich. Sowohl im Upstream- als auch im Downstr...
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Zuverlässige Druckregelung und Absperrung in Hochtemperatur- und Hochdruckprozessen
Die 62.0 HV-Eckregelventil-Baureihe ist ideal für Vakuumprozesse mit hohem Druck und/oder hoher Temperatur, wie z.B. ALD oder CVD. Mit einer maximalen Betriebstemperatur von 200°C liefert das 62.0 eine außergewöhnlich präzise Druckregelleistung. Durch seinen elektrischen Linearantrieb kann die Öffnungs- und Schließbewegung sehr sanft und präzise gesteuert werden und dies mit einem geringen minimalen Leitwert. Zu dem vermeidet eine integrierte „Soft-Start“-Funktion Druckspitzen, wie sie bei den meisten konventionellen pneumatischen Antrieben entstehen.
Der On-Board-Controller (externer Controller für DN 80 und DN 100) bietet Serviceanschlüsse und verschiedene Schnittstellen zum Anschluss an einen PC oder eine PCU. Ein wesentliches Merkmal des Ventil-Controllers ist auch die mitgelieferte Control-Performance-Analyzer-App, über die die Leistung des Ventils für verschiedene Prozessbedingungen im Zeitverlauf analysiert werden kann.
Im Falle eines Stromausfalls bietet das 62.0 eine Funktion zur Verriegelung in der "Geschlossen"-Position, die die hermetische Dichtwirkung des Ventils weiter sicherstellt.
Bereits in hunderten von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat das 62.0 HV-Eckregelventil seine herausragende Zuverlässigkeit und Leistung bewiesen. Es setzt den Maßstab für Eckregelventile in puncto Regelbarkeit und Performance-Überwachung.
Das 62.0 HV-Eckregelventil ist erhältlich in Größen von DN 16 - 100 mm (5/8" - 4"). Sein Gehäusematerial ist Edelstahl mit der Option einer Nickelbeschichtung. Die Größen DN 16 - 50 mm (5/8" - 2") sind auch in Aluminium erhältlich. Ventilkopf und Teller sind mit FKM oder FFKM abgedichtet. Die Drehdurchführung ist mit einem Faltenbalg abgedichtet.
Ein Heizmantel ist eine Option, ebenso eine spezielle Balgheizung für DN 80 und DN 100.
Controller-Schnittstellen sind RS232, RS485, Logic (analog/digital), DeviceNet®, Profibus und EtherCAT.
Hauptmerkmale des 62.0 Eckregulierventil
Merkmale:
- Betrieb bei hohen Temperaturen
- Sehr feine Druckregelung ohne Druckspitzen
- Elektrischer Linearantrieb
- Integrierter Soft-Start zur Reduzierung von Partikelaktivierung
- Control-Performance-Analyzer-App
Vorteile:
- Herausragende Druckregelung
- Zuverlässige Leistung unter anspruchsvollen Bedingungen
- Einfache Systemintegration
- Einfache Wartung
- Niedrige Betriebskosten
Technische Daten
| DN 40 (1 1/2"), DN 50 (2") | DN 100 (4") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Linearantrieb mit schrittmotorgesteuertem Regelkreis | ||
| Gehäusewerkstoff | Aluminium, Nichtrostender Stahl | Nichtrostender Stahl | |
| Durchführung | Bälge | Bälge | |
| Standard Flansche | ISO-KF | ISO-K | |
| Dichheit | Ventilgehäuse | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich | < 1 × 10-8 mbar to 1.4 bar (abs) | < 1 × 10-8 mbar to 1.1 bar (abs) | |
| Differenzdruck | am Teller beim Öffnen | ≤ 1 bar | ≤ 1 bar |
| Zyklen bis zur ersten Wartung1) | Drosselung Absperrung |
2 Millionen 1 Million |
1 Million 200 000 |
| Temperatur | Standard (Ventil/Balg) Hochtemperatur-Option (Ventil/Balg) Regler/Antrieb Umgebungstemperatur |
≤ 80 °C ≤ 200°C max. 50 °C (≤ 35 °C empfohlen) |
≤ 80°C ≤ 200°C ≤ 50 °C (≤ 35 °C empfohlen) |
| Werktstoff | Ventilgehäuse, Teller Balg |
Aluminum EN AW-6082 (3.2315), AISI 316L (1.4404 or 1.4435) AISI 316Ti (1.4571) |
Nichtrostender Stahl 316L (1.4404 or 1.4435) AISI 316Ti (1.4571) |
| Dichtung | Kopf, Teller | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) |
| Einbaulage | Beliebig | Beliebig | |
1) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen
