Substrattransfer
Halbleiter werden in mehreren Schritten in speziell dafür ausgelegten Prozesskammern produziert. Beim Transfer von einer Prozesskammer zur anderen spi...
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07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation
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Maximieren Sie Qualität und Produktivität mit herausragender Partikeleigenschaften
Die wichtigsten Leistungsmerkmale für Transferventile mit Kontakt zu Atmosphärendruck in Halbleiterproduktionsanlagen sind deren Partikeleigenschaften, im Sinne einer geringen Partikelaktivierung und -freisetzung sowie schnelle und zuverlässige Öffnungs- und Schließzyklen.
Der 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT kombiniert beides, außergewöhnliche gute Partikeleigenschaften mit optimierter Steuerbarkeit für variable und schnelle Zykluszeiten.
Installationsoptionen
Montageschrauben 4 x M6
Montageschrauben 4 x M8
Die Konstruktion des 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT konzentriert sich auf optimierte Partikeleigenschaften und sehr schnelle Zykluszeiten.
Das herausragend niedrige Niveau möglicher Partikelfreisetzungen des 07.0 wird durch die Optimierung verschiedener Konstruktionsmerkmale erreicht, wie z.B. durch einen Torsionsstab am Teller für eine gleichmäßige Dichtungskompression, einem vollständig gekapselten Antrieb, einer schmiermittelfreien Umgebung und einer echten L-Bewegung zur Vermeidung eines Schließstoßes.
Die außergewöhnliche echte L-Bewegung des 07.0 wird durch die spezielle LINVAT-Technologie von VAT erreicht. Anstelle von zwei separaten Antrieben für die vertikale und horizontale Bewegung verwendet LINVAT nur einen Antrieb in einer zweistufigen Bewegung. Das Ergebnis: Ein äußerst zuverlässiges Antriebskonzept mit einer schnellen, stabilen, einstellbaren und stoßfreien Bewegung. Der Vorteil: höhere Verfügbarkeit und verbesserte Steuerbarkeit.
Hauptmerkmale des 07.0 HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT
Merkmale:
- Design mit verringerter Partikelaktivierung und -freisetzung
- Fettfreie Betriebsumgebung
- Außergewöhnliche präzise L-Bewegung
- Gleichmäßige Dichtungskompression
- Flexibler D-Sub- und AMP-Anschluss
Vorteile:
- Herausragende Partikeleigenschaften
- Hohe Verfügbarkeit
- Zuverlässiger Betrieb
- Technische Daten
- Downloads
| Grössen | DN 10 mm (1.81" × 9.29") DN 12 mm (1.97" × 13.23") DN 14 mm (1.38" × 13.23") DN 15 mm (2.56" × 16.54") DN 20 mm (1.97" × 16.54") |
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|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | ||
| Durchführung | Balg | ||
| Dichtheit | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| Differenzdruck am Teller | in Schliessrichtung | ≤ 1 bar | |
| in Öffnungsrichtung | ≤ 0.1 bar | ||
| Differenzdruck bei Öffnung | ≤ 30 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | ≥ 3 million | ||
| Antriebszeit | Öffnen | ≤ 1 s | |
| Schliessen | ≤ 1 s | ||
| Temperatur | Teller | ≤ 120 °C | |
| Antrieb | ≤ 80 °C | ||
| Werkstoff | Teller | Aluminium | |
| Balgschutz | Polytetrafluorethylen | ||
| Dichtung | FFKM, vulkanisiert | ||
| Einbaulage | Antrieb oben oder unten | ||
| Verriegelung bei Drucklufteinbruch | Pneumatische Verriegelung | ||
| Lagemelder | Reed Swith | ||
| Gewicht | DN 10, DN 12, DN 15 DN 14, DN 20 |
8.5 kg /18.7 lbs 7.5 kg /16.5 lbs |
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