Sputtern
PVD-Sputtern ist ein Kernverfahren der Displayproduktion. Ein wichtiger Fertigungsschritt ist z.B. die Backplane-Metallisierung, bei der Leiterbahnen...
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06.1 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT
Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme
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Zuverlässig unter allen Bedingungen
Das 06.1 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wurde entwickelt, um die besonderen Anforderungen von Display-Produktionssystemen zu erfüllen. Das 06.1 wurde für Produktionssysteme mit hoher Taktzahl entwickelt und kombiniert einen nahezu partikelfreien Betrieb mit einer herausragenden schnellen Bewegungszeit für große Transferventile (≤ 2 s bei 150 mm Öffnungshöhe). Das 06.1 ist für eine hohe Betriebszeit und einen zuverlässigen Betrieb über eine Lebensdauer von mehr als einer Million Zyklen ausgelegt.
Die für das 06.1 verwendete TWINVAT-Technologie basiert auf einem modularen Plattformkonzept und ist umfänglich auf die wichtigsten Display-Produktionsanwendungen optimiert:
- PECVD / ETCH: Eine spezielle Funktion „Service-Position“ ermöglicht es, eine Prozesskammerseite unter Vakuum zu halten, während der Teller auf der anderen Seite gewartet wird. Dies reduziert Service-Stillstandszeiten erheblich. Die TWINVAT-Technologie ermöglicht eine stoßfreie Öffnungs- und Schließbewegung. Der leichtgängige, doppeltwirkende TWINVAT-Mechanismus sorgt für einen gleichmäßigen Dichtungsdruck über die gesamte Dichtungsfläche und minimiert so den Verschleiß der Dichtung und eine potentielle Partikelfreisetzung. Dies reduziert in relevantem Maß auch die Gesamtkosten für FFKM-Dichtungen über die Lebensdauer des Ventils.
- OLED/PVD & Load-Lock: Mit einer modifizierten Version des 06.1 (der Version 06.3) mit größeren Druckelementen kann der volle Differenzdruck angelegt werden. Diese Version ist in der "Ultra Clean"-Konfiguration für OLED und mit einer Hochgeschwindigkeitsoption für PVD- und Load-Lock-Anwendungen erhältlich.
Die Baureihe 06.1 ist als Transferventil mit Gehäuse oder als Insert-Version zum direkten Einbau in die Prozesskammer erhältlich.
Bereits in hunderten von Display-Produktionssystemen weltweit in unterschiedlichsten Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 06.1 ihre hervorragende Leistung in allen Aspekten bewiesen.
Das 06.1 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wird wie alle VAT-Transferventillösungen exakt auf die Kundenspezifikation zugeschnitten. Diese Anpassungen können eine zusätzliche Prozesssteuerungseinheit, spezielle Oberflächenbehandlungen wie harteloxiertes oder vernickeltes Aluminium, andere Dichtungsmaterialien, Vakuummessgeräte zur Erfassung des Drucks im Ventilgehäuse, faltenbalggeschützte Wellendurchführung, HF- & DC-Erdungsoptionen für Ventil und Teller, seitliche Einbaulage der Antriebe und vieles mehr umfassen.
Hauptmerkmale 06.1 Groß-Transverventil /-Insert mit TWINVAT
Merkmale:
- Schockfreie Bewegung des Schließtellers
- Spezielle Ventilservicefunktion für Tellerdichtungswechsel
- Gleichmäßiger Druck auf die Tellerdichtung
Vorteile:
- Geringe Partikel
- Geringe Stillstandszeiten für Wartung
- Schnelle Zykluszeiten
- Hohe Verfügbarkeit
Technische Daten
| Grössen | 100 x 1000 mm to 300 x 3800 mm (3.94" x 39.37" to 11.81" x 149.60") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend mit Lagemelder | |
| Gehäusewerkstoff | Aluminium | ||
| Durchführung | Schiebedurchführung | ||
| Dichheit | Ventilgehäuse | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
| Ventilsitz | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| Differenzdruck | Am Teller | Ventil: nur in Schliessrichtung | ≤ 1 bar |
| Insert: nur in Öffnungsrichtung | ≤ 30 mbar | ||
| Beim Öffnen | ≤ 5 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | 1 Million | ||
| Schliess- oder Öffnungszeit | < 2.5 s (bei 150 mm Öffnungshöhe) | ||
| Temperatur | Ventilgehäuse, Teller | ≤ 120 °C | |
| Antrieb | ≤ 60 °C | ||
| Steuereinheit | ≤ 50 °C | ||
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller | EN AW-6082 (3.2315) or EN AW-5083 (3.3547) | |
| Antriebsstangen | AISI 316 (1.4401) | ||
| Balg am Druckelement | AISI 633 (AM 350) | ||
| Dichtung | Teller, Flansche, Durchführung, Antrieb | FKM (Viton®) | |
| Pumpe / Entlüftungsanschluss | ISO-KF 40 | ||
| Einbaulage | Antrieb oben oder unten | ||
| Lagemelder | Spannung | 24 V DC PNP (NPN optional) | |
