Display-Trockenätzung
Typischerweise wird beim Trockenätzen ein maskiertes Muster aus Halbleitermaterial durch einen Ionenbeschuss (meist ein Plasma aus reaktiven Gasen) en...
Lesen Sie mehrDas 16.8 Große HV-Pendel-Isolationsventil bietet eine zuverlässige Absperrleistung auch unter rauen Prozessbedingungen. Es ist ideal für Absperranforderungen in Anwendungen mit großen Volumenströmen, wie z.B. in großen Beschichtungs- oder Display-Produktionssystemen. Daher wird es in DN 400 und 500mm angeboten. Das 16.8 bietet wahlweise eine 3-Positionen-Pneumatik oder eine Standard-Pneumatik, beide doppeltwirkend.
Durch sein spezielles geteiltes Gehäusedesign ermöglicht es eine Wartung ohne Demontage der Rohrleitungsanschlüsse oder Prozesskammeranschlüsse. Sein schlankes Design erlaubt es, das 16.8 direkt an eine Prozesskammer zu montieren, wodurch z.B. das normalerweise erforderliche Volumen in einer Kammer - Ventil - Pumpenverbindung entfällt.
Mit ihrem robusten Design sowie einer Vielzahl von Ausführungsoptionen lässt sich die Baureihe 16.8 leicht in verschiedene Vakuumprozesse integrieren.
Bereits in hunderten von Batch- und Inline-Produktionsanlagen auf der ganzen Welt unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 16.8 ihre herausragende Leistung in allen Aspekten bewiesen.
Das 16.8 Große HV-Pendel-Isolationsventil ist in Aluminium erhältlich, mit Standard-Flanschanschlüssen in ISO-F und JIS. Kundenspezifische Flansche können integriert werden. Weitere Optionen sind Anschlüsse zum Grobevakuieren, Entlüften oder für Messgeräte. Da das 16.8 häufig zur Isolierung von Turbopumpen eingesetzt wird, ist auch ein Splitterschutzgitter erhältlich.
Merkmale:
Vorteile:
Grössen | DN 400 (16"), DN 457 (16"), DN 500 (20") | |
---|---|---|
Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend |
3-Position-Pneumatik | Doppeltwirkend | |
Gehäusewerkstoff | Aluminium | |
Durchführung | Drehdurchführung | |
Standard Flansche | ISO-F, ASA, JIS | |
Dichheit | Ventilgehäuse, Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
Druckbereich | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) | |
Differenzdruck am Teller | ≤ 1.2 bar | |
Differenzdruck beim Öffnen | ≤ 30 mbar | |
Zyklen bis zur ersten Wartung | 100 000 | |
Temperatur | Ventilgehäuse Antrieb Steuerventil Lagemelder |
≤ 120 °C ≤ 80 °C ≤ 50 °C ≤ 80 °C |
Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 30 °C h-1 | |
Werkstoff | Ventilgehäuse Teller Durchführung (mediumberührende Teiler) |
EN AC-421000 (3.2371) EN AW-6082 (3.2315) EN AW-6082 (3.2315), AISI 303 (1.4305) |
Dichtung | Kopf, Teller, Durchführung | FKM (Viton®) |
Einbaulage | Beliebig | |
Steuerventil | 24 V DC, 5.4 W (andere auf Anfrage) | |
Lagemelder: Schaltleistung | Spannung Strom |
≤ 50 V AC/DC ≤ 3 A |
Ventilstellungsanzeige | Visuell (Mechanisch) |