Sputtern
PVD-Sputtern ist ein Kernverfahren der Displayproduktion. Ein wichtiger Fertigungsschritt ist z.B. die Backplane-Metallisierung, bei der Leiterbahnen...
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06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT
Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme - Version für Atmosphärendruck
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Zuverlässig unter allen Bedingungen
Das 06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wurde entwickelt, für die besonderen Anforderungen von Display-Produktionssystemen mit einer hohen Taktrate. Es basiert auf dem Konzept der Baureihe 06.1, kombiniert wie das 06.1 eine herausragend schnelle Öffnungs- und Schließbewegung (≤ 2 s bei 150 mm Öffnungshöhe) mit hoher Widerstandsfähigkeit gegen prozessbedingte Ablagerungen, die die Leistung von Standardventilen einschränken würden. Ausgestattet mit größeren Druckelementen kann das 06.3 dem vollen Differenzdruck am Ventilteller in Öffnungsrichtung widerstehen. Es ist damit besonders für OLED, PVD und Load-Lock-Anwendungen geeignet.
Das 06.3 ist in der "Ultra Clean"-Konfiguration für OLED und mit einer Hochgeschwindigkeitsoption für PVD- und Load-Lock-Anwendungen erhältlich.
Das 06.3 ist für hohe Verfügbarkeit und zuverlässigen Betrieb über eine Lebensdauer von mindestens einer Million Zyklen ausgelegt.
Die für das 06.3 verwendete TWINVAT-Technologie basiert auf einem modularen Plattformkonzept. Sie ermöglicht eine stoßfreie Öffnungs- und Schließbewegung. Der leichtgängige, doppeltwirkende TWINVAT-Mechanismus sorgt für einen gleichmäßigen Dichtungsdruck über die gesamte Dichtungsfläche und minimiert so den Verschleiß der Dichtung und eine potentielle Partikelfreisetzung. Dies reduziert in relevantem Maß auch die Gesamtkosten für FFKM-Dichtungen über die Lebensdauer des Ventils.
Die Baureihe 06.3 ist als Transferventil mit Gehäuse oder als Insert-Version zum direkten Einbau in die Prozesskammer erhältlich.
Das 06.3 Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT wird wie alle VAT-Transferventillösungen exakt auf die Kundenspezifikation zugeschnitten. Diese Anpassungen können eine zusätzliche Prozesssteuerungseinheit, spezielle Oberflächenbehandlungen wie harteloxiertes oder vernickeltes Aluminium, andere Dichtungsmaterialien, Vakuummessgeräte zur Erfassung des Drucks im Ventilgehäuse, faltenbalggeschützte Wellendurchführung, HF- & DC-Erdungsoptionen für Ventil und Teller, seitliche Einbaulage der Antriebe und vieles mehr umfassen.
Hauptmerkmale 06.3 Groß- Transverventil /-Insert mit TWINVAT
Merkmale:
- Schockfreie Bewegung des Schließtellers
- Spezielle Ventilservicefunktion für Tellerdichtungswechsel
- Gleichmäßiger Druck auf die Tellerdichtung
Vorteile:
- Geringe Partikel
- Geringe Stillstandszeiten für Wartung
- Schnelle Zykluszeiten
- Hohe Verfügbarkeit
Technische Daten
| Grössen | 100 x 1000 mm to 300 x 3800 mm (3.94" x 39.37" to 11.81" x 149.60") | ||
|---|---|---|---|
| Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend mit Lagemelder | |
| Gehäusewerkstoff | Aluminium | ||
| Durchführung | Schiebedurchführung | ||
| Dichheit | Ventilgehäuse | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
| Ventilsitz | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| Differenzdruck | Am Teller | Ventil: nur in Schliessrichtung | ≤ 1 bar |
| Insert: nur in Öffnungsrichtung | ≤ 30 mbar | ||
| Beim Öffnen | ≤ 5 mbar | ||
| Zyklen bis zur ersten Wartung | 1 Million | ||
| Schliess- oder Öffnungszeit | < 2.5 s (bei 150 mm Öffnungshöhe) | ||
| Temperatur | Ventilgehäuse, Teller | ≤ 120 °C | |
| Antrieb | ≤ 60 °C | ||
| Steuereinheit | ≤ 50 °C | ||
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller | EN AW-6082 (3.2315) or EN AW-5083 (3.3547) | |
| Antriebsstangen | AISI 316 (1.4401) | ||
| Balg am Druckelement | AISI 633 (AM 350) | ||
| Dichtung | Teller, Flansche, Durchführung, Antrieb | FKM (Viton®) | |
| Pumpe / Entlüftungsanschluss | ISO-KF 40 | ||
| Einbaulage | Antrieb oben oder unten | ||
| Lagemelder | Spannung | 24 V DC PNP (NPN optional) | |
