Sub-Fab-Systeme
Sub-Fab-Prozesse können eine Herausforderung sein: Korrosive, abrasive und toxische Gase, Kondensation und hohe Anteile von Nebenprodukten im Gasstrom...
Lesen Sie mehrDas 12.1 Schieber ist mit der VATLOCK-Technologie ausgestattet, die für eine zuverlässige Abdichtung ohne jegliche Reibung an der Tellerdichtung sorgt. Ein wesentliches Merkmal des VATLOCK ist die Verriegelung in der Schließposition, wodurch das Risiko eines Vakuumverlustes aufgrund eines Druckluftausfalls ausgeschlossen wird.
Bereits in tausenden von anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat die Baureihe 12.1 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Sie ist zur Standardlösung für die Vakuumabsperrung in Druckbereichen bis zu < 10-7 mbar geworden, z.B. in Verbindung mit einer Turbomolekularpumpe.
Mit robustem Design und direkter Montagemöglichkeit ohne Flansche sowie reduzierter und einfacher Wartung durch das teilbare Gehäuse, erfüllt die Serie 12.1 problemlos alle Standardanforderungen. Verschiedene Auslegungsoptionen bei Antrieb, Flanschanschlüssen oder zusätzlichen Vakuumanschlüsse machen die Integration in jede Vakuumanwendung einfach.
Der 12.1 Schieber ist als manuelle und pneumatische Version mit Steuerventil erhältlich, entweder als „On-board“-Lösung oder zur externen Montage. Die Standardspannung des Steuerventils beträgt 24 VDC, andere Spannungen sind auf Anfrage erhältlich. Die Ventilstellung wird durch mechanische oder elektrische Positionsanzeiger angezeigt.
Standardoptionen für Flanschverbindungen sind ISO-F und JIS. Kundenspezifische Flansche können integriert werden, ebenso wie Sonderausstattungen, z.B. ein Shutter für Laseranwendungen.
In der Standardausführung wird der Teller mit einem FKM O-Ring abgedichtet. Andere Dichtungsmaterialien sind auf Anfrage erhältlich.
Merkmale:
Vorteile:
Grössen | DN 63 (2½’’), DN 80 (3"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12") | ||
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Antrieb | Pneumatisch | Doppeltwirkend | |
Manuell | mit Schubstange | ||
Gehäusewerkstoff | Aluminium | ||
Durchführung | Schiebedurchführung | ||
Standard Flansche | ISO-F, JIS | ||
Dichheit | Ventilgehäuse | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
Ventilsitz | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
Druckbereich | 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs) (DN 63 – 200) 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar (abs) (DN 250 – 320) |
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Differenzdruck | am Teller | ≤ 1.6 bar (DN 63 – 200) ≤ 1.2 bar (DN 250 – 320) |
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beim Öffnen | ≤ 30 mbar | ||
Zyklen bis zur ersten Wartung | 200 000 (DN 63 – 100) 100 000 (DN 160 – 320) |
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Temperatur | Ventilgehäuse | ≤ 120 °C | |
Antrieb | ≤ 80 °C | ||
Steuerventil | ≤ 50 °C | ||
Lagemelder | ≤ 80 °C | ||
Aufheiz- und Abkühlrate | ≤ 30 °C h-1 | ||
Werkstoff | Ventilgehäuse | EN AW-5083 (3.3547, EN AW-6061 (3.3211) (DN 63 – 100) EN AC-42100 (3.2371) (DN 160 – 320) |
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Mechanik | AISI 304 (1.4301) (DN 63 – 100) EN AW-6082 (3.2315) (DN 160 – 320) |
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Dichtung | Kopf, Teller | FKM (Viton®) | |
Einbaulage | Beliebig | ||
Steuerventil | 24 VDC, 5.4 W (andere auf Anfrage) | ||
Lagemelder: Schaltleistung | Spannung | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
Strom | ≤ 2 A | ≤ 1.2 A | |
Ventilstellungsanzeige | Visuell (Mechanisch) |