Prozesssteuerung und Prozessisolation
Die hochpräzise Regelung und Isolation von Vakuum- und Gasströmen ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich. Sowohl im Upstream- als auch im Downstr...
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61.7 HV-Regelklappenventil
Herausragende Druckregelung mit ausserordentlich niedrigem Leitwert
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Benchmark für Druckregelung über ausserordentlich grosse Druckbereiche
Dank moderner Controller-Technologie von VAT bietet das 61.7 HV-Regelklappenventil hervorragende Druckregelung über einen ausserordentlich grossen Druckbereich. Ausgehend von einem Leitwert bei praktisch null erreicht das Ventil den vollen Leitwert innerhalb von 0,5 Sekunden. Der schnell und präzise Controller gestattet eine äusserst feine Druckregelung über den gesamten Arbeitsbereich. Die Druckregelung basiert auf den bewährten Designgrundsätzen von VAT, bei denen der Ventilteller als Drosselelement dient und den Leitwert der Ventilöffnung variiert.
In Verbindung mit externen Drucksensoren regelt das 61.7 HV-Regelklappenventil den exakten Druck in einer Vakuumkammer. Hierfür nutzt der Controller von VAT den am Host-System eingestellten Druck und den in der Kammer gemessenen Druck, um die Position des Ventiltellers zu variieren, bis der eingestellte Druck erreicht wird.
Das 61.7 HV-Regelklappenventil ist nicht als Isolationsventil konzipiert, doch es hat die Fähigkeit, mit einem Leitwert von null zu arbeiten. Dies wird erreicht, indem das Elastomer auf dem Ventilteller den Ventilkörper in der Position mit Leitwert null berührt. Diese nominale Kompression des Elastomers eignet sich jedoch nicht, um hermetisch dicht zu schliessen.
Wird das Ventil bei einem Leitwert von null geöffnet, nimmt der Leitwert ohne Druckspitzen äusserst gleichmässig zu. Das proprietäre Design von VAT gewährleistet eine gleichmässige Kompression der Tellerdichtung gegen den Ventilkörper, wodurch ein sanftes Anfahren im Leitwertprofil möglich ist. Deshalb ist das 61.7 HV-Regelklappenventil besonders gut für Anwendungen geeignet, die Betriebsumgebungen mit hohem Druck und geringem Durchfluss erfordern.
Das 61.7 HV-Regelklappenventil ist für einen Temperaturbereich von bis zu 150 °C geeignet und daher ideal für Prozesse mit höherer Prozesstemperatur, bei denen die Kondensation im Gasdurchfluss vermieden werden soll.
Bereits in Tausenden anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert, hat das Designkonzept der Baureihe 61 und insbesondere der Baureihe 61.7 ihre herausragende Zuverlässigkeit bewiesen. Mit einem robusten Design und einer einfachen Wartung überzeugt die Baureihe 61.7 in allen Belangen.
Das 61.7 HV-Regelklappenventil ist in vielfältigen Auslegungsmöglichkeiten bei Gehäusematerial, Oberflächenbehandlung, Elastomeren, Flanschanschlüssen und Drosselelementen erhältlich und bietet kundenspezifische Regelalgorithmen (adaptiv, fix PI, downstream/soft pump). Die unterschiedlichen Auslegungsmöglichkeiten vereinfachen die Integration der Baureihe 61.7 in unterschiedlichste Applikationen und eignen sich zur Nachrüstung vorhandener Anlagen.
Hauptmerkmale des 61.7 HV-Regelklappenventil
Merkmale:
- Ausserordentlich niedriger regelbarer Leitwert – bis zu null l/s
- Ausserordentliche Leistung in Bezug auf Druckregelung und Druckbereich
- Sehr schnelle Bewegung
- Besonders gut für Umgebungen mit hohem Druck / geringem Durchfluss geeignet
- Erhöhter Temperaturbereich: 150 °C
Vorteile:
- Bessere Prozessregelbarkeit
- Hohe Verfügbarkeit und unbeschränkte Leistung
- Niedrige Betriebskosten
- Technische Daten
- Downloads
| Grössen | DN 40 mm (1 ½"), DN 50 mm (2"), DN 63 mm (2 ½"), DN 80 mm (3"), DN 100 mm (4") |
|
|---|---|---|
| Antrieb | Integrierter Steuerung mit Schrittmotor, feldorientierte Steuerung | |
| Gehäusewerkstoff | Harteloxiertes Aluminium oder Edelstahl | |
| Standard Flansche | ISO-KF, ISO-F | |
| Dichheit: Ventilgehäuse1) | Harteloxiertes Aluminium Edelstahl |
< 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| Druckbereich1) | Harteloxiertes Aluminium Edelstahl |
< 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) |
| Zyklen bis zur ersten Wartung2) | Druckregelung |
2 Millionen |
| Temperatur | Ventilgehäuse Controller |
≤ 150 °C max. 50°C (≤ 35 °C empfohlen) |
| Werkstoff | Ventilgehäuse, Teller Ventilgehäuse, Stange |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 or 1.4435) |
| Dichtung | Teller Durchführung |
FKM FKM |
| Durchführung | Drehdurchführung | |
| EInbaulage | Ventilsitz zur Kammer |
1) Unbeheizt bei Auslieferung
2) Maximalwerte: je nach Betriebsbedingungen und Dichtwerkstoffen
