Fenster-, Blenden- oder Filterfolien-Optionen
| Für die folgenden Vakuumventilbaureihen werden Fenster-, Blenden- oder Filterfolieneinsätze als Option angeboten: 01.0 Mini-UHV-Schieber |
| 10.8 UHV-Schieber |
| 15.0 FV/ 15.1 HV/ 15.2 UHV-Schieber |
| 16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil |
Optionen für 01.0 Mini-UHV-Schieber
Die MONOVAT-Dichtungstechnologie, die im 01.0 Mini-UHV-Schieber verwendet wird, ermöglicht den Einbau eines Fensters, einer Blende oder einer Filterfolie in den Schieber des Vakuumventils. Diese können durch einfaches Öffnen des Ventilgehäuses integriert werden, ohne dass das Ventil aus dem System entfernt werden muss. Das Fenster, die Blende, oder die Filterfolie wird zwischen dem O-Ring und einem schraubbaren Haltering eingeklemmt. Ein spezielles Montagewerkzeug, das mit jedem Ventil geliefert wird, wenn die Option bestellt wird, ermöglicht einen einfachen Austausch.
01.0 Mini-UHV-Schieber mit Fenster
Der Fenstereinsatz wird in den Schieber eingesetzt. Der Fenstereinsatz ist zwischen einem O-Ring und einem schraubbaren Haltering eingeklemmt, um ihn bei Bedarf leicht auswechseln zu können.
| a | Schnitt A-A | f | Fensterglas |
| b | Schieber | g | Geschraubter Haltering |
| c | Elastomerdichtung für Fenster Ø21,95 x 1,78 | h | Dicke des Schiebers 4 mm |
| d | Durchmesser des Glases Ø24 ±0,2 | i | Dicke des Glases 1,5 ±0,1 |
| e | Optisch freier Durchmesser Ø21 ±0,2 | j | Bohrungen für Montagewerkzeug |
| Spezifikation des Fensters | Optisch freier Durchmesser: 21,0±0,2
Äußerer Durchmesser: 24,0±0,2 Glasdicke: 1,5±0,1 Standard-Fensterglasmaterial: Borosilikat oder Saphir (andere Materialien müssen vom Kunden bereitgestellt werden) |
| Optionen | Blindplatte im Schieber (anstelle eines Fensterglases) 2 Ventile zusammengeschweißt 3 Ventile zusammengeschweißt |
| Ersatzteile | Elastomer-Dichtung
Haltering, um das Fensterglas in Position zu halten. Werkzeug für die Montage Borosilikat-Fensterglas Saphir-Fensterglas Blindplatte |
| Dichtheitsprüfung | Jedes Ventil wird mit eingebautem Fensterglas auf Dichtheit geprüft. |
01.0 Mini-UHV-Schieber mit Blende
Die Blende im Schieber ermöglicht einen kontrollierten Durchfluss. Diese Option wird in der Regel nur bei zwei miteinander verschweißten Ventilen verwendet.
Standardblende im Schieber (0,05 bis 15 mm)
Die Blende ist wie ein Fensterglas zwischen einem O-Ring und einem schraubbaren Haltering eingeklemmt. Sie ermöglicht einen kontrollierten Durchfluss und wird normalerweise mit einem anderen Ventil kombiniert, um die Absperrfunktion zu gewährleisten. Beide Ventile sind in einer solchen Konfiguration miteinander verschweißt, um zusätzliche Dichtungsanforderungen zu vermeiden.
| a | Schnitt A-A | e | Durchmesser der Düse 24,0±0,2 | |
| b | Schieber | f | Dicke des Schiebers 4 mm | |
| c | Elastomerdichtung für Blende Ø21,95 x 1,78 | g | Dicke der Blende | |
| d | Geschraubter Haltering Ø24 ±0,2 | h | Bohrungen für Montagewerkzeug |
| Spezifikation der Blende | Größen: 0,05 bis 15 mm
Äußerer Durchmesser: 24,0±0,2 Dicke: 1,5±0,1 Standard-Werkstoff: AISI 301 |
| Optionen | Öffnung im Schieber zum Einbau einer Standardblende (Blende nicht enthalten) Blindplatte im Schieber (anstelle einer Blende) 2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt |
| Zusätzliche Teile | Elastomer-Dichtung
Haltering für Standardblende Montagewerkzeug Blindplatte Blende: 0,05 bis 15 mm |
| Dichtheitsprüfung | Jedes Ventil wird mit montierter Blindplatte auf Dichtheit geprüft, um die Dichtheit am Sitz zu gewährleisten. Nach der Dichtheitsprüfung wird die Abdeckplatte entfernt und die kundenspezifische Blende eingebaut. |
Kleine Blende im Anschnitt (0,01 bis 0,1 mm)
Die Blende ist zwischen einer M4-Halteschraube und dem Schieber eingeklemmt. Es gibt keine Dichtung zwischen der Blende und dem Schieber. Das bedeutet, dass das Ventil am Sitz nicht dicht ist, wenn anstelle der Blende eine Blindplatte verwendet wird. Die Blende kann mit einem Schraubendreher der Größe 3 ausgetauscht werden.
| a | Schnitt A-A |
| b | Schieber |
| c | Dicke des Schiebers 4 mm |
| d | Durchmesser der Blende 3,00/-0,05 mm |
| e | Halteschraube M4 |
| Spezifikation der Blende | Größen: 0,01 bis 0,1 mm
Äußerer Durchmesser: 3,00/-0,05mm Dicke: 0,3 mm Standard-Werkstoff: AISI 304 |
| Optionen | Öffnung im Schieber zum Einbau einer kleinen Blende (Blende nicht enthalten) Blindplatte im Schieber (anstelle einer Blende) 2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt |
| Zusätzliche Teiles | Elastomer-Dichtung
Haltering für kleine Blende Halteschraube M4 Blende 0,01 bis 0,1 mm Blindplatte |
| Dichtheitsprüfung | Die Dichtheitsprüfung ist in der Standardkonfiguration des Ventils ohne Blende oder in der Konfiguration mit zwei zusammengeschweißten Ventilen möglich, wobei eines die Absperr- und das andere die Blendenfunktion übernimmt. |
01.0 Mini-UHV-Schieber mit Filterfolie
Standard-Filterfolien im Schieber
Das Ventil wird ohne Filterfolie geliefert. Diese muss separat beschafft und eingebaut werden.
| a | Schnitt A-A | f | Platz für Folie 0,2...0,4 |
| b | Ventilschieber | g | Haltering für Folienfilter |
| c | Elastomerdichtung für Folie Ø21,95 x 1,78 | h | Dicke des Schibers 4 mm |
| d | Durchmesser der Folie Ø25 ±0,2 | i | Dicke der Folie 0,2 - 0,4 mm±0,1 |
| e | Freier Durchmesser Ø21 ±0,2 | j | Bohrungen für Montagewerkzeug |
| Folienfilter | Freier Durchmesser: 21,0±0,2mm
Äußerer Durchmesser: 25,0±0,2mm Dicke: 0,2 - 0,4 mm |
| Optionen | Öffnung im Schieber zum Einbau eines Folienfilters (Folienfilter nicht enthalten) 2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt |
| Ersatzteile | Elastomer-Dichtung
Haltering für Folienfilter Montagewerkzeug |
| Dichtheitsprüfung | Jedes Ventil wird mit einer Blindplatte und einem Fensterhaltering auf Dichtheit geprüft. Der Haltering für den Folienfilter wird erst nach der Dichtheitsprüfung montiert. |
LUXEL (VF111) Filterfolie im Schieber
Die LUXEL(VF111)-Filterfolien-Serie bietet mehrere Vorteile für Anwendungen mit weicher Röntgenstrahlung. Die Filter werden in den Schieber eingeschraubt und sind so konzipiert, dass sie sichtbares Licht zurückhalten, weiche Streustrahlung herausfiltern sowie das Röntgen-/EUV-Bandspektrum auf den gewünschten Bereich begrenzen. Das Ventil wird immer ohne den LUXEL-Filter geliefert. Das Ventil oder der Haltering muss zur Installation des Filters an die Firma LUXEL geschickt werden. Der Haltering mit dem LUXEL-Filter kann ausgetauscht werden, ohne die Kopfdichtung ersetzen zu müssen oder das Ventil aus dem System zu entfernen. Im Vergleich zur Ausführung mit Sichtfenster unterscheidet sich der Dichtungsring. Der Schieber, der O-Ring und das Montagewerkzeug unterscheiden sich nicht.
| a | Schnitt A-A | f | LUXEL-Filter |
| b | Ventilschieber | g | Haltering für LUXEL-Filter |
| c | Elastomerdichtung für Folie Ø21,95 x 1,78 | h | Dicke des Schiebers 4 mm |
| d | Durchmesser der Folie Ø20,6 ±0,1 ±0,05 | i | Dicke des LUXEL-Filters 1,74 0-0,1 |
| e | Freier Durchmesser Ø15,9 ±0,2 | j | Bohrungen für Montagewerkzeug |
| Spezifikation des Folienfilters | Detaillierte Informationen finden Sie auf der LUXEL Website |
| Optionen | Öffnung im Schieber zum Einbau eines LUXEL-Filters (Filter nicht enthalten) 2 oder 3 Ventile zusammengeschweißt |
| Ersatzteile | Elastomer-Dichtung
Haltering für LUXEL-Filter Werkzeug für die Montage |
| Dichtheitsprüfung | Jedes Ventil wird mit einer Blindplatte und einem Fensterdichtungsring auf Dichtheit geprüft. Der Haltering für den LUXEL-Filter wird erst nach der Dichtheitsprüfung eingebaut. |
Option für 10.8 UHV-Schieber
10.8 UHV-Schieber mit Fenster
Der 10.8 UHV-Schieber verwendet die VATLOCK-Dichtungstechnologie. Um das Fenster in den Schieber zu integrieren, ist der Dichtungsmechanismus leicht verändert, damit die Blattfeder den optisch freien Durchgang des Fensters nicht behindert.
| DN 63 | DN 100 | |
| Ø a | 70 | 100 |
| Ø b | 46±0,2 | 50±0,2 |
| Ø c | 40 | 43 |
| Ø d | M48x1,5 | M52x1,5 |
| e | 21 | 21 |
| f | 4±0,1 | 4±0,1 |
| g | 3,3 | 3,3 |
| h | 9 | 9 |
| DN 160 | DN 200 | |
| Ø a | 150 | 200 |
| Ø b | 75±0,2 | 97±0,2 |
| Ø c | 68 | 90 |
| Ø d | 90 | 113 |
| e | 21 | 26,5 |
| f | 6±0,1 | 6±0,1 |
| g | 3,7 | 3,7 |
| h | 8 | 12 |
| Spezifikation des Fensters | Die maximale Größe des Fensters wird durch den VATLOCK-Mechanismus bestimmt. Bei den Ventilen DN 250 und DN 320 ist ein Fenster nicht möglich.
Standard-Fenstermaterial: Borosilikat oder Saphir (andere Materialien müssen vom Kunden geliefert werden) Optisch freier Durchmesser C Ventil DN 63: 40 mm Ventil DN 100: 43 mm Ventil DN 160: 68 mm Ventil DN 200: 90 mm Glasdicke Ventil DN 63 – 100: 4 mm Ventil DN 160 – 250: 6 mm Einbaulage des Ventils: Beliebig |
| Ersatzteile | Montagewerkzeug für Fenstertausch DN 63 Montagewerkzeug für Fenstertausch DN 100 |
| Dichtheitsprüfung | Jedes Ventil wird mit einer Blindplatte und einem Fensterhaltering auf Dichtheit geprüft. |
Option für 15.0 FV/ 15.1 HV/ 15.2 UHV-Schieber
15.0 FV/ 15.1 HV/ 15.2 UHV-Schieber
mit Fenster, Blende oder Folienfilter im Schieber
Die UHV-Schieber der Baureihe 15 verwenden die MONOVAT Dichtungstechnologie, ähnlich wie der 01.0 Mini-UHV-Schieber. Diesbezüglich gelten die gleichen technischen Spezifikationen. Bitte beachten Sie daher den Abschnitt 01.0 Mini-UHV-Schieber. Die maximale Größe eines Fensters, einer Blende oder eines Folienfilters wird im Allgemeinen durch den Durchmesser des Schiebers bestimmt.
| a | MONOVAT-Schieber |
| b | Haltering |
| c | Fenster |
| d | O-Ring |
| Spezifikationen für Fenster Siehe Baureihe 01.0 | Mit Fenster Mit Blende Mit Filterfolie |
Optionen 16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil
16.2 HV-Pendel- und Isolationsventil mit Fenster
Die Baureihe 16.2 verwendet eine Pendelventilkonstruktion, die den Einbau großer Fenster ermöglicht. So kann z.B. ein DN 250 Ventil ein Fenster mit einem optischen freien Durchmesser von 200 mm haben. Es ist auch möglich, mehr als ein Fenster im Schieber zu haben. Das Fenster wird durch O-Ringe abgedichtet, die auch den Glas-Metall-Kontakt während der Wärmeausdehnung verhindern.
| a | Schieber |
| b | Schraube |
| c | Flansch |
| d | Fenster |
| e, f | Dichtung |
 |
Seite des Ventilsitzes |
| Spezifikationen der Fenster | ||||
| Ventilgröße DN | Material des Fensters | Optisch freier Durchmesser "A"1 mm | Dicke des Glases mm | |
| 200 | Borosilicate Saphir | 130 170 | 6 5 | |
| 250 | Borosilikat Saphir | 130 200 | 6 6 | |
| 320 | Borosilikat Saphir | 150 250 | 8 6 | |
| 350 | Borosilikat Saphir | 150 250 | 8 6 | |
| 400 | Borosilikat Saphir | 150 250 | 8 6 | |
| 500 | Borosilikat Saphir | auf Anfrage auf Anfrage |
1 Die obige Spezifikation umfasst die größtmöglichen Fenster. Kleinere Fenster auf Anfrage. Aufgrund des Gewichts des Fensters ist es nicht möglich, das Ventil in jeder Position zu montieren.