Spezielle Klasse von Isolations-Regelventilen, bei welcher der Vakuumteller durch eine Rotationsbewegung aus dem Öffnungsquerschnitt bewegt wird. Durch eine sehr feine Leitwert-Steuerung die Standardlösung für Downstream-Druckregelung in Prozesskammern. Merkmale: Kompaktes Design, geringe Vibrationen, sanftes Öffnen und Schließen, Vermeidung von Partikeln im Prozess.
