Vakuumventillösungen für die Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung sind in der Regel maßgeschneidert. Aufbauend auf ausgewählte VAT Basistechnologien entwickeln wir die für den speziellen Anwendungsbereich optimale Lösung in puncto technischer Parameter wie Leitwert, Dichtheit, Antrieb, Grad der Ausgasung und Partikelfreiheit, Temperaturbeständigkeit sowie Platzbedarf. 

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung bei spezifischen Ventilaufgaben der Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung helfen kann, wählen Sie bitte unten ein Produkt aus.

Relevante Serien

HV-Transferventil mit L-VAT

04.2

1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Transferventil mit L-VAT

für Load-Lock- und Prozesskammer-Isolation

HV-Transferventil mit L-MOTION

04.3

1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (abs)

HV-Transferventil mit L-MOTION

Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse

HV-Tranferventil-Insert mit L-VAT

05.2

1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Tranferventil-Insert mit L-VAT

für Load-Lock- und Prozesskammer-Isolation

HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION

05.3

1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs)

HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION

Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

07.0

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

UHV-Schieber

10.8

1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)

UHV-Schieber

Der Standard für UHV-Absperrung

Schieber

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung

HV-Schieber

14.0

HV-Schieber

Für die Standard-Hochzyklus-Vakuum-Absperrung

UHV-Schieber

15.2

1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

UHV-Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung

HV-Pendel- und Isolationsventil

16.2

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Pendel- und Isolationsventil

Der Standard für Isolationsanforderungen in Evaporator- und Sputter-Anwendungen

Klappenventil mit VATTERFLY

20.3

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Klappenventil mit VATTERFLY

Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen

Klappenventil

21.0

1 × 10-8 mbar to 1.3 bar (abs)

Klappenventil

Zuverlässige Absperrung in kompakter Bauform

Gasdosierventil

21.1

1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

Flutventil

21.3

1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

Flutventil

Kontrolliertes Belüften von Vakuumsystemen

Eckventil

24.4

1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Eckventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme

Inline-Ventil

24.5

1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme

HV-Eckventil

26.4

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

HV-Eckventil

Zum Abpumpen und Entlüften von HV-Systemen.

HV-Inline-Ventil

26.5

1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)

HV-Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit

UHV-Eckventil

28.4

5 × 10-10 mbar to 5 bar (abs)

UHV-Eckventil

Herausragend niedrige Ausgasungsrate

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

29.0

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse (DN 25 - 80)

HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion

29.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse

UHV/XHV-Ganzmetall-Eckventil "Easy Close"

54.1

XHV to 2 bar (abs)

UHV/XHV-Ganzmetall-Eckventil "Easy Close"

Für extreme UHV/XHV-Anforderungen

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

59.0

UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

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Metall-Membranbälge

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Flanschverbinder und Dichtungen