Präzision und Stabilität

Das VAT-Vakuumventil-Portfolio für Dünnschicht-Beschichtungsprozesse ist auf einen präzisen, stabilen Betrieb auch bei wechselnden Prozessbedingungen ausgelegt. Wesentliche Merkmale sind dabei präzise Gasflusssteuerung auch bei kleinen Leitwerten, minimierte Restgas- und Partikelemission sowie ein modulares Design, um die benötigten Vakuumventile optimal auf die jeweiligen Prozessanforderungen auslegen zu können.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT-Vakuumventillösung Herausforderungen in Dünnschicht-Beschichtungsprozessen lösen kann, wählen Sie bitte unten eines der Produkte aus.

Relevante Serien

HV-Transferventil mit L-VAT

04.2

1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Transferventil mit L-VAT

für Load-Lock- und Prozesskammer-Isolation

HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION

05.3

1 × 10-9 mbar to 1.1 bar (abs)

HV-Transferventil-Insert mit L-MOTION

Schnell & präzise, besonders geeignet für korrosive Prozesse

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

06.1

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

06.3

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme - Version für Atmosphärendruck

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

06.6

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit SOLVAT

High Performance für PV- und andere große Beschichtungsanlagen

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

06.8

Groß-Transferventil /-Insert /-Tür mit FLAPVAT

High Performance für PV und andere große Beschichtungssysteme

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

07.0

HV-Atmosphärentür-Insert mit LINVAT

High Performance für EFEM und Load-Lock-Isolation

UHV-Schieber

10.8

1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)

UHV-Schieber

Der Standard für UHV-Absperrung

Schieber

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung

HV-Schieber

14.0

HV-Schieber

Für die Standard-Hochzyklus-Vakuum-Absperrung

Schieber

15.0

1 × 10-7 mbar to 1 bar (abs)

Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung

HV-Schieber

15.1

1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

HV-Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung

UHV-Schieber

15.2

1 × 10-10 mbar to 1 bar (abs)

UHV-Schieber

Außergewöhnlich niedrige Stoß- und Partikelfreisetzung

Großes HV-Pendel-Isolationsventil

16.8

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

Großes HV-Pendel-Isolationsventil

Kompaktes Design für große Vakuumvolumen und raue Bedingungen

Klappenventil mit VATTERFLY

20.3

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Klappenventil mit VATTERFLY

Sichere Absperrung bei kontaminierenden und aggressiven Vakuum-Prozessen

Gasdosierventil

21.1

1 × 10-7 mbar to 4 bar (abs)

Gasdosierventil

Kontrollierter, reproduzierbarer Gasstrom für Vakuumkammern

Flutventil

21.3

1 × 10-8 mbar to 1 bar (abs)

Flutventil

Kontrolliertes Belüften von Vakuumsystemen

Mini-Eck/Inline-Ventil

21.4

1 × 10-8 mbar to 10 bar (abs)

Mini-Eck/Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit beim Dichten oder Entlüften ohne Druckluft

Eckventil

24.4

1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Eckventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme

Inline-Ventil

24.5

1 × 10-7 mbar to 5 bar (abs)

Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit für große Volumenströme

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

25.0

1 × 10-8 mbar to 3 bar (abs)

HV-Zylinderventil (Eck-Version)

Maximale Leitfähigkeit für raue Prozessumgebungen

HV-Eckventil

26.4

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

HV-Eckventil

Zum Abpumpen und Entlüften von HV-Systemen.

HV-Inline-Ventil

26.5

1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)

HV-Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit

UHV-Eckventil

28.4

5 × 10-10 mbar to 5 bar (abs)

UHV-Eckventil

Herausragend niedrige Ausgasungsrate

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

29.0

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse (DN 25 - 80)

HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion

29.1

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Inline-Ventil mit Soft-Pump-Funktion

Pumpen und Entlüften ohne Turbulenzen oder Druckimpulse

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

59.0

UHV to 10 bar (abs)

UHV-Ganzmetall-Feindosierventil

Für extreme UHV-Anforderungen

HV-Regelklappenventil

61.3

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Regelklappenventil

Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung

HV-Regel- und Isolations-Klappenventile

61.6

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HV-Regel- und Isolations-Klappenventile

Schnelle, präzise Downstream-Druckregelung und -Absperrung

HV-Regelklappenventil

61.7

HV-Regelklappenventil

Herausragende Druckregelung mit ausserordentlich niedrigem Leitwert

HV-Eck-Regelventil

62.0

1 × 10-8 mbar to 1.4 bar (abs)

HV-Eck-Regelventil

Die Lösung für hohe Drücke und hohe Temperaturen

Gasdosierventil

62.7

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

Gasdosierventil

Herausragende Regelbarkeit von Gasströmen für Vakuumkammern

Weitere Produkte

Metall-Membranbälge

Weitere Produkte

Flanschverbinder und Dichtungen