Das VAT Transferventilportfolio für den Substrattransfer ist auf einen präzisen, stabilen Betrieb auch bei wechselnden Prozessbedingungen ausgelegt. Je Baureihe wird in allen Leistungsparametern immer an die jeweiligen spezifischen Kundenbedürfnisse angepasst. Wesentliche Merkmale sind: anpassbare Öffnungs- und Schließzyklen; eine präzise, adaptive Dichtung, die Überpressungen vermeidet; eine reibungsfreie L-Bewegung aus einem oder zwei Antrieben sowie die Vermeidung von Partikelaktivierungen.
Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Transferventillösung Herausforderungen im Substrattransfer bewältigen kann, wählen Sie aus den unten aufgeführten Baureihen aus.
