Die in der OLED-Produktion verwendeten organischen Leuchtstoffe sind anfällig für Umgebungsfeuchte und Sauerstofferosion. Eine präzise Prozesssteuerung ist daher unerlässlich. VAT Vakuumventillösungen zur Steuerung, Isolierung und zum Substrattranfer bieten die erforderliche Präzision und Prozessstabilität.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung den Herausforderungen bei der OLED-Verdampfung begegnet, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Produkten.

Relevante Serien

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

06.1

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

06.3

Groß-Transferventil /-Insert mit TWINVAT

Hohe Leistung für Display-Produktionssysteme - Version für Atmosphärendruck

Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT

07.7

Groß-Transfertür-Insert mit L-VAT

Herausragende Leistung für Display- und PV-Produktionssysteme

Schieber

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

Schieber

Der Standard für Vakuum-Absperrung

HV-Eckventil

26.4

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

HV-Eckventil

Zum Abpumpen und Entlüften von HV-Systemen.

HV-Inline-Ventil

26.5

1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)

HV-Inline-Ventil

Kompromisslose Zuverlässigkeit

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

29.2

1 × 10-7 mbar to 2 bar (abs)

HV-Eckventil mit Soft-Pump-Funktion

Vermeidet Turbulenzen oder Kondensation, großes Leitwertspektrum (DN 100 - 160)

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Metall-Membranbälge

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Flanschverbinder und Dichtungen