Ion-Implementation

Die Ionenimplantation wird eingesetzt, um die elektrischen Eigenschaften eines Siliziumsubstrats zu verändern. Dabei handelt es sich um einen Niedertemperaturprozess, bei dem Ionen in das „Target“ beschleunigt werden. Der Erfolg von Ionenimplantationsprozessen hängt stark von der Qualität des Vakuums im Ionenimplantierer ab - und von den Vakuumventilen, die die Hochvakuumumgebung steuern und isolieren.

Zur optimalen Absperrung und Steuerung der Vakuumbedingungen in Ionenimplantierern sind Vakuumventile notwendig, die eine präzise Steuerung erlauben und gleichzeitig ein physikalisch neutrales Verhalten im Prozess zeigen.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung dabei helfen kann, Herausforderungen in der Ionenimplantation zu bewältigen, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Baureihen.