CVD

Die Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) werden z. B. für Dünnschichtverkapselungen eingesetzt, um die Haltbarkeit eines Displays zu gewährleisten und es vor Umwelteinflüssen zu schützen. CVD-Prozesse müssen unter kontrollierten atmosphärischen Bedingungen ablaufen, die eine präzise Steuerung der Gasströme und Druckverhältnisse in der Prozesskammer erfordern. VAT Vakuum- und Gasdosierventile für CVD-Prozesse sind speziell für diese Bedingungen ausgelegt.

Präzision und Langlebigkeit

VAT Vakuum- und Gasdosierventile für CVD-Prozesse bieten nicht nur eine sehr präzise Regelung, sondern auch eine hohe Beständigkeit im Kontakt mit aggressiven Medien. Dies erhöht die Produktionsqualität und -verfügbarkeit sowie die Gesamtrentabilität.

Um mehr darüber zu erfahren, wie eine VAT Vakuumventillösung bei CVD-Herausforderungen unterstützen kann, wählen Sie bitte aus den unten aufgeführten Produkten.