Ausgewählte Anwendungen

Semiconductor-Produktion

Schnelle Innovationszyklen in der Halbleiterproduktion verlangen eine ständige Optimierung der Produktionsprozesse für bestehende und neue Produktionsanlagen. Vakuumventile, die Standards in puncto Reinheit und Partikelarmut sowie bei Steuerbarkeit, Geschwindigkeit und Verfügbarkeit setzen, sind das Rückgrat einer optimierten Produktion.

• Prozesssteuerung und Prozessisolation
• Substrattransfer
• Sub-Fab-Systeme

Solarmodul-Produktion

Hersteller von Solarmodulen stehen vor vielen Produktionsherausforderungen: wachsende Substratabmessungen, Steigerung des Durchsatzes bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung einer hohen Anlagenverfügbarkeit und Prozessstabilität, Senkung der Betriebskosten. Bedingungen, denen sich auch die eingesetzten Vakuumventile, insbesondere Transferventile, mit innovativen Konzepten stellen müssen.

• Solar-Dünnschicht-Abscheidung
• Sub-Fab-Systeme

Display-Produktion

Die globale Displayindustrie ist getrieben von immer größeren Glassubstratabmessungen, dem Wechsel von LCD- zu OLED-Technologie, komplexeren Display-Fertigungsprozessen sowie der Optimierung bestehender Produktionsanlagen. Diese Dynamik fordert Hochleistungsvakuumventil-Lösungen, die zu Qualitäts- und Produktivitätssteigerungen beitragen.

• Display-Trockenätzung
• Sputtern
• Dünnschichtverkapselung
• OLED-Aufdampfung
• Ion-Implementation
• CVD
• OLED-Inkjet-Druck
• Sub-Fab-Systeme

Leuchtmittelproduktion (LED, OLED)

Da sich LED- ebenso wie in zunehmendem Maß OLED-Beleuchtung zu einem Massenmarkt entwickelt hat, ist die Produktion stark kostengetrieben. Hohe Produktionsqualität und hohe Stückzahlen definieren daher auch den Rahmen für die Entwicklung der erforderlichen Vakuumventillösungen. Maßgebend sind dabei Zuverlässigkeit, geringer Wartungsbedarf und niedrige Betriebskosten.

• Leuchtmittel-Dünnfilmbeschichtung
• Sub-Fab-Systeme
• Leuchtmittel-Ätzung

Sub-Fab-Systeme

Sub-Fab-Prozesse können eine Herausforderung sein: Korrosive, abrasive und toxische Gase und/oder Kondensation und hohe Anteile von Nebenprodukten im Gasstrom können die Funktionalität und Zuverlässigkeit von Vakuumventilen stark beeinträchtigen. Zu den Schlüsselfunktionen von Vakuumventilen gehören die Vermeidung von Rückflusskontamination, Volumenstromregelung und Pumpenabsperrung.

Forschung

Das Spektrum der vakuumunterstützten F&E-Anwendungen reicht von spezialisierten Großforschungsanlagen bis zu Laboranwendungen. Allen gemeinsam ist der Anspruch, die Grenzen des technisch Möglichen auszuloten, um die Sensibilität und Qualität der Messungen zu verbessern. Für die eingesetzten Vakuumventile bedeutet dies: verbesserte Steuerbarkeit, zuverlässige, langzeitstabile Absperrung auch unter extremen Bedingungen sowie inertes physikalisches Verhalten unter Vermeidung jeglicher Emissionen.

• Weltraum-Simulation
• Hochenergiephysik

Wissenschaftliche Instrumente

Das Spektrum wissenschaftlicher Instrumente reicht von maßgeschneiderten großtechnischen Anlagen in staatlichen oder halbstaatlichen Forschungseinrichtungen bis hin zu standardisierten Hightech-Instrumenten wie Massenspektrometern und Elektronenmikroskopen, die in unterschiedlichen Bereichen eingesetzt werden.

• Massenspektrometrie & Gasanalyse
• Elektronenmikroskopie, Metrologie, Inspektion und Defektprüfung

Dünnfilm-Beschichtung

Für Dünnschicht-Beschichtungsprozesse werden eine Reihe unterschiedlicher Verfahren eingesetzt, z. B. CVD, PVD, MOCVD oder PECVD. Allen Prozessen gemeinsam ist, dass sie unter kontrollierten atmosphärischen Bedingungen, z.B. unter Argon-Atmosphäre, und unter Vakuum ablaufen. Entscheidend für die Effizienz des Beschichtungsprozesses ist die genaue Kontrolle des Vakuums und der Gasverteilung. VAT Ventiltechnologien setzen Standards in diesem Bereich.

Industrie

Die Zahl der Vakuumanwendungen ist nahezu unbegrenzt. Es gibt kaum einen Industriebereich, in dem Vakuumanwendungen bei der Lösung verschiedenster Produktions- und Fertigungsaufgaben nicht eine wichtige Rolle spielen. VAT hat für fast alle Anwendungen die passende Lösung.

• Vakuumöfen
• Vakuum-Transport
• Batterieproduktion
• Kristallzüchtung
• Vakuumtrocknung

Medizin & Pharmazie

Vakuum und damit Vakuumventillösungen sind für verschiedene medizinische Bereiche und Geräte entscheidend. Das Spektrum reicht von Standardanforderungen für zuverlässiges Absperren und Regeln bis hin zu hoher Temperaturbeständigkeit, Partikelemissionen und Wartungsfreiheit. VAT bietet Lösungen für alle Fragen.

• Protonentherapie
• Positron-Emissions-Tomography (PET)
• Vakuumsterilisation
• Pharmazeutische Gefriertrocknung

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