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为超高真空工艺提供可靠、精准的控制
64.8 超高真空控制闸阀系列设计用于在超高真空工艺中为各种应用（如半导体生产中的溅射或 EUV）提供可靠、精准的控制和隔离。该系列满足耐用性、模块性、密封性和可维护性的标准要求，并且特别注重长正常运行时间和低购置成本。
64.8 系列采用 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。设备上压力控制器可计算所需的阀板位置以达到设定点压力。步进电机执行驱动。编码器监控阀板位置。这样可确保快速准确地控制过程压力。位于关闭位置的专用 VATLOCK 锁定机制能够确保在断电的情况下，将密封隔离与故障保护关闭相结合。
超高真空性能通过金属阀盖密封、波纹管密封馈通件和硫化阀板密封件（O 型圈为选件）实现。
64.8 高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。凭借自身坚固的无润滑剂设计，64.8 超高真空控制闸阀系列满足高循环真空控制闸阀的所有要求
64.8 超高真空控制闸阀在密封材料、法兰连接、粗抽（旁路）、排气或计量表用端口以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软抽）方面提供不同的设计选项，以简化其在各种真空应用中的集成。此外，控制器还可以从阀门单独安装。
该系列可提供 DN 为 200-250 mm (8" - 10") 的尺寸，同时可根据要求提供 DN 160（6 英寸）和 DN 320（12 英寸）的尺寸。
64.8 超高真空控制闸阀的主要特点
特点：
- 适用于超高真空应用，设计可靠、成熟
- 免润滑剂
- VATLOCK 技术
- 坚固的不锈钢阀体
优势：
- 可靠精确的控制和隔离
- 免维护周期延长
- 拥有成本较低
技术数据
| 尺寸 | DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 带有闭环控制步进电机的集成压力控制器 | ||
| 阀体材料 | 不锈钢 | ||
| 馈通件 | 波纹管 | ||
| 标准法兰 | ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS | ||
| 泄漏率 | 阀体 阀座 |
< 5 × 10-10 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
|
| 压力范围 | DN 160-200 DN 250 DN 320 |
1 × 10-10 mbar to 1.6 bar（绝对压强） 1 × 10-10 mbar to 1.2 bar （绝对压强） 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar （绝对压强） |
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| 阀板可承受压差 | DN 160-200 DN 250-320 |
≤ 1.6 bar ≤ 1.2 bar |
|
| 打开时可承受压差 | ≤ 30 mbar | ||
| 首次维护前开关次数1) | 节流（打开 – 最大开口） 隔离（打开 – 关闭 – 打开） |
10 万次 3 万次 |
|
| 温度 | 阀体 控制器 |
≤ 80°C 最大 50℃（建议 ≤ 35℃） |
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| 材料 | 阀体 机构 波纹管 |
AISI 304 (1.4301) DN 160- 200 - AISI 316L (1.4404) DN 250 - AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
|
| 密封 | 阀盖 阀板 |
金属 氟橡胶 |
|
| 安装位置 | DN 160-250 DN 320 |
任何位置 水平位置 |
|
| 阀门位置指示 | 视觉（机械和控制器） | ||
1) 最大值取决于操作条件和密封材料
