高达 6 kW 可靠保护的标准

对射束阻挡器的主要要求是可靠的作用止动机构。79.3 射束阻挡器(嵌入型)可在超高真空和极高真空应用中提供可靠的保护,以免受能量辐射。带有水冷式铜板的止动机构的射束功率载荷在射束直径 > 60 mm 时最高为 6 kW,在射束直径 < 60 mm 时最高为 5 kW。具体载荷最大为 25W/mm²。

为满足超高真空和极高真空要求,79.3 系列具有一体式水冷导轨,供水和真空之间没有焊缝。同时也提供非冷却版本。

79.3 系列为气动驱动。射束阻挡器的标准烘烤温度为最高 250℃,驱动器为最高 80℃(最高 200℃ 可选)。阀盖为金属密封,馈通件通过焊接金属波纹管密封。

经证明,79.3 射束阻挡器(嵌入型)系列可在各种工艺条件下的所有领先能量束设施中提供可靠性能,成为了射束阻挡的标准。


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79.3 射束阻挡器(嵌入型)系列的 DN 为 63-160 mm (2½" - 6")。阀体材料为不锈钢。标准法兰连接器为 CF-F,也可选择客户指定法兰,以及用于粗抽(旁路)、排气或计量表的额外端口。

首次维护前的标准时间为 5000 次开关。如有需要,可提供 5 万次开关的增强版本。


79.3 射束阻挡器的主要特点

特点:

  • 兼容超高真空和极高真空部件
  • 一体式水冷导轨
  • 可以选择延长免维护时间

优势:

  • 技术成熟
  • 免维护运行时间延长
  • 拥有成本较低
技术数据
尺寸 DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8")
驱动器气动双作用
阀体材料 不锈钢
馈通件 波纹管
标注法兰 CF-F
泄漏率束流阻断器< 1 × 10-10 mbar ls-1
压力范围 超高真空至 1 bar(绝对压强)
首次维护前开关次数 5000 次(可选:5 万次)
烘烤温度束流阻断器≤ 250°C
 驱动器≤ 80℃(可选:200℃)
加热和冷却速率 ≤ 80 °C h-1
材料束流阻断器AISI 304 (1.4301)
 机构AISI 304 (1.4301)
 波纹管AISI 316L (1.4404)
 水冷阀板
密封阀盖金属
安装位置 任何位置
压缩空气(最小超压 - 最大超压) 4– 7 bar / 58 – 102 psi
关闭时间DN 100
DN 160
2秒
3秒
载荷束流直径 < 60 mm
束流直径 > 60 mm
最大 5 kW
最大 6 kW
特定载荷 最大为 25 W/mm2
冷却水数量
温度
最小 15 l/min
< 15℃

 

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