太阳能薄膜沉积
太阳能电池板制造商使用各种涂层工艺(CVD、ALD、MBE、PVD等)来生产构成现代太阳能电池性能的超薄薄膜。所有工艺的共同点是在受控的大气条件下进行,例如在氩气...
阅读更多02.7 卷轴式传输阀与MONOVAT旨在满足连续式网/膜涂装工艺的特殊要求。为确保工艺室可靠的密封并在连续式涂装工艺中保护网/膜带,02.7 系列使用了精密的卷轴式密封系统。该密封系统基于 VAT 成熟的 MONOVAT 密封技术。凭借双密封卷轴式设计,密封压力在有效密封和不损坏网/膜之间实现完美平衡。两次密封之间的中间抽气阶段,让密封性能更上一层楼
02.7 系列专为高循环生产系统设计,结合了出色的操作速度(≤ 1.5 秒)和对流程相关沉积(会限制标准阀性能)的抗性。
02.7 系列使用的 MONOVAT 特殊密封技术使阀板的开启和关闭动作无冲击,最大程度地减少粒子产生和密封磨损。此外,该阀门的密封机构为双密封系统,设计紧凑,因此整个阀体十分小巧,可实现较小的安装尺寸。
02.7 系列已在全球各种工艺条件下的数百个网/膜生产系统中运行,从各个方面证明了其卓越的性能。
与所有 VAT 传输阀解决方案一样,02.7 卷轴式传输阀与MONOVAT专为特定客户规格定制。这些定制元件包括脉冲驱动用电磁阀、硬质阳极氧化铝或镀镍铝等特殊表面处理、波纹管密封馈通件等。
特点:
优势:
尺寸 | 50 × 300 mm (1.97" × 11.81") 至 50 × 1250 mm (1.97" × 49.21") |
||
---|---|---|---|
驱动器 | 气动 | 双作用,带位置指示器 | |
阀体材料 | 铝或不锈钢 | ||
馈通件 | 带有中间层泵口的轴馈通件 | ||
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | |
阀座 | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | ||
§压差 | 阀板上 | ≤ 1 bar | |
打开时 | ≤ 5 mbar | ||
首次维护前开关次数 | 1万次 | ||
关闭或打开时间 | ≤ 1.5 秒(开口高度为 50 mm 时) | ||
温度 | 铝阀体/阀板 | ≤ 120 °C | |
不锈钢阀体/阀板 | ≤ 150 °C | ||
驱动器、位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
阀体/阀板温差 | ≤ 25 °C | ||
材料 | 铝阀体/阀板 | EN AW-5083 (3.3547) | |
不锈钢阀体/阀板 | AISI 304 (1.4301) | ||
驱动器轴 | AISI 304 (1.4301) | ||
密封 | 阀板、法兰、馈通件 | 氟橡胶 | |
安装位置 | 驱动器可向上或向下安装 | ||
位置指示器 | 电压 | 10–30 VDC PNP(可选 NPN) | |
阀板上的箔张力 | 最大 0.5 N/mm(例如箔的宽度为 300 mm,最大拉力为 150 N) |