溅射
PVD溅射是显示器生产中的一个核心工艺。其中一个重要的制造步骤，例如，背板金属化即造成其中薄膜晶体管的导电轨道被沉积。随着薄膜晶体管（TFT）越来越小，基板...
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任何条件下都值得信赖
06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT 旨在满足显示器生产系统的特殊要求。06.1 系列专为高循环生产系统设计，实现了大型传输阀在较快操作速度（150 mm 开口高度下 ≤ 2 秒）下的几乎无粒子运行。06.1 系列旨在实现较长的正常运行时间和可靠运行，使用寿命超过 100 万次。
06.1 系列所使用的 TWINVAT 技术基于模块化平台概念，针对显示器关键应用经过完全优化：
- PECVD/蚀刻：对于这些应用，06.1 系列提供一个特殊服务功能，支持在传送室于真空下保持生产模式的同时对工艺室阀板进行维护。此功能十分重要，因为在 PECVD 和蚀刻工艺中，需要定期清洁和更换闸封。移动轻柔、双作用的 TWINVAT 机构可沿着完整的密封表面提供一致的密封压力，减少所需的密封载荷并最大程度地减轻密封磨损。这样可以降低全氟橡胶密封在阀门使用寿命内的成本。
- OLED/PVD 与装载锁：在 06.1 的修改版本（06.3 版本）中，通过使用更大的紧压部件，可应用全压差。此版本适用于 OLED 的“超洁净”配置，提供适用于 PVD 和装载锁应用的高速选项。
06.1 系列可作为具有外壳的标准传输阀使用，也可作为嵌入型阀门直接安装至工艺室内。
06.1 系列已在全球各种工艺条件下的数百个显示器生产系统中安装，从各个方面证明了其卓越的性能。
与所有 VAT 传输阀解决方案一样，06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT 专为特定客户规格定制。这些定制可包括额外过程控制单元、特殊表面处理（如硬质阳极氧化铝或镀镍铝）、其他密封材料、真空计（用于检测阀体内的压力）、波纹管保护的轴馈通件、阀门或阀板的射频和 DC 接地选项、驱动器的横向安装位置等。
06.1 大型传输阀/插件与TWINVAT 的主要特点
特点：
- 阀板运动冲击减轻
- 适用于闸封更换的特殊阀门服务功能
- 闸封上的压力一致
优势：
- 粒子少
- 维护停机时间短
- 循环周期短
- 正常运行时间长
技术数据
| 尺寸 | 100 x 1000 mm 至 300 x 3800 mm (3.94" x 39.37" to 11.81" x 149.60") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 双作用，带位置指示器 | |
| 阀体材料 | 铝 | ||
| 馈通件 | 轴馈通件 | ||
| 泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| 压差 | 阀板上 | 阀门型：仅关闭方向 | ≤ 1 bar |
| 嵌入型：开启方向 | ≤ 30 mbar | ||
| 打开时 | ≤ 5 mbar | ||
| 首次维护前开关次数 | 100万次 | ||
| 关闭或打开时间 | < 2.5 秒（开口高度为 150 mm 时） | ||
| 温度 | 阀体、阀板 | ≤ 120 °C | |
| 驱动器 | ≤ 60 °C | ||
| 电磁阀 | ≤ 50 °C | ||
| 材料 | 阀体、阀板 | EN AW-6082 (3.2315) or EN AW-5083 (3.3547) | |
| 驱动器轴 | AISI 316 (1.4401) | ||
| 紧压部件上的波纹管 | AISI 633 (AM 350) | ||
| 密封 | 紧压部件上的波纹管 | 氟橡胶 | |
| 泵/通气孔 | ISO-KF 40 | ||
| 安装位置 | 驱动器可向上或向下安装 | ||
| 位置指示器 | 电压 | 24 VDC PNP（可选 NPN） | |
