显示干式蚀刻
通常情况下,干式蚀刻通过离子轰击(通常是活性气体的等离子体)来移除和蚀刻半导体材料的遮蔽图案,从而将材料从暴露的表面移开。这个过程可能导致冷凝和高度的...
阅读更多16.8大型高真空摆式隔离阀在恶劣的工艺条件下也能提供可靠的隔离性能。它是大流量应用中隔离要求的理想选择,如大型涂层或显示器生产系统。因此,它提供了DN400和500mm的规格。16.8阀门提供可选的3位气动或标准气动,均为双作用。
由于其特殊的分体式设计,它允许在不拆卸管道连接或工艺室连接的情况下进行维护。其纤细的设计允许将16.8尺寸的隔离阀直接安装在工艺室中,减少了通常在工艺室-阀门-泵连接中所需要的体积。
16.8系列很容易集成到各种真空工艺中,凭借其坚固的设计和各种设计选项。
16.8系列已经安装在全球数百个不同工艺条件下的批量和在线生产系统中,它在各方面都证明了其出色的性能。
16.8大型高真空摆式隔离阀有铝制的,有ISO-F和JIS的标准法兰接头。可以集成客户特定的法兰。其他更多的选择是用于粗加工(旁通)、通风或用于测量的端口。由于16.8尺寸的隔离阀经常被用来隔离涡轮泵,所以也可以提供防溅网。
特点:
优势:
尺寸 | DN 400 (16"), DN 457 (16"), DN 500 (20") | |
---|---|---|
驱动器 | 气动 | 双作用 |
3位气动 | 双作用 | |
阀体材料 | 铝 | |
贯通性 | 旋转式贯通件 | |
标准法兰 | ISO-F, ASA, JIS | |
泄露率 | 阀体;阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
压力范围 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (绝对压强) | |
阀板可承受压差 | ≤ 1.2 bar | |
打开时可承受压差 | ≤ 30 mbar | |
首次维护前开关次数 | 10万次 | |
温度 |
阀体 驱动器 电磁阀 位置指示器 |
≤ 120 °C ≤ 80 °C ≤ 50 °C ≤ 80 °C |
加热和冷却速率 | ≤ 30 °C h-1 | |
材料 | 阀体 碟型 贯通件(与介质接触的部分) |
EN AC-421000 (3.2371) EN AW-6082 (3.2315) EN AW-6082 (3.2315), AISI 303 (1.4305) |
密封 | 阀帽 碟型 贯通件 | 氟橡胶 (Viton®) |
安装位置 | 任何位置 | |
电磁阀 | 24 V DC, 5.4 W (可根据要求提供其他值) | |
位置指示器:触点额定值 | 电压 电流 |
≤ 50 V AC/DC ≤ 3 A |
阀门位置指示 | 视觉(机械) |