电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查
在电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查领域使用的真空环境的控制需要高精度的真空阀技术，需要在最小的结构尺寸下达到理想效果。VAT为该领域的定制解决方案设定...
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在腐蚀性工艺环境下提供可靠隔离
采用 L-VAT 技术的 05.2 传输阀插件特别适合腐蚀性工艺，如蚀刻或 CVD。L-VAT 技术通过单轴气动驱动器提供阀板的 J 型运动。在 J 型运动中，阀板在不接触阀体的情况下垂直移动到关闭位置，在最后的运动中被水平推到阀座上（密封件以固定力接触阀座，该固定力与所连接的空气压力相关）。
为进一步减少粒子的产生和生成，阀板配备了硫化密封件。尽管标准 O 型密封圈可作为一种选择，但这是一种比标准 O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解决方案。轴馈通件由高度耐用的金属焊接波纹管密封。
断电时，05.2 系列可通过选配的止回阀气动锁定在关闭和打开位置。
05.2 L-VAT 传输阀设计用于延长免维护运行（在首次维护前开关次数 ≤ 300 万）。
05.2 系列已经安装在数百个各种半导体生产流程的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。05.2 系列具有坚固的设计，减少了维护量，使维护更方便，在各个方面都令人信服。
05.2 传输阀插件与L-VAT始终根据客户规格要求量身定制。尽管如此，四个基础设计类型已预定义：两种具有不同的后侧开口的阀门类型和两种带有内腔或外腔阀座的嵌入型阀门类型。
阀体材料选择有硬质阳极氧化铝或镀镍铝。阀板和阀盖密封件采用氟橡胶或全氟橡胶材料。可根据要求使用其他密封材料。
05.2 高真空传输阀插件与L-VAT的主要特点
特点：
- 可在腐蚀性工艺条件下实现可靠运行
- 平滑且低冲击的运动
- 采用避免粒子生成和产生的 L-VAT 技术
- 波纹管密封轴馈通件
- 免维护周期延长
优势：
- 正常运行时间长/性能不受限
- 运行快速
- 运行成本低
技术数据
| 尺寸 | 46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 双作用，带位置指示器 | |
| 阀体材料 | 铝 | ||
| 馈通件 | 波纹管 | ||
| 泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 1 × 10-9 mbar 至 1.2 bar（绝对压强） | ||
| 压差 | 阀板上 | ≤ 1.2 bar | |
| 打开时 | ≤ 30 mbar | ||
| 首次维护前开关次数 | ≥ 300万次 | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 50 °C 至≤ 120 °C | |
| 阀板 | ≤ 50 °C 至 ≤ 120 °C | ||
| 加热和冷却速率 | ≤ 40 °C h-1 | ||
| 阀座/阀板温差 | < 40 °C | ||
| 材料 | 阀体、阀板、检修盖 | EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) | |
| 轴、波纹管端件 | AISI 316L (1.4435) | ||
| 波纹管 | AISI 633 (AM 350) | ||
| 密封 | 阀盖 | 氟橡胶 | |
| 阀板 | 氟橡胶 | ||
| 安装位置 | 驱动器可向下安装 | ||
| 脉冲电磁阀 | 24 VDC，2.5 W（可根据要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：触点额定值 | 电压 | ≤ 50 VDC | |
| 电流 | ≤ 250 mA | ||
| 电源 | ≤ 10 W | ||
| 连接 | 9 针 D 形超小型连接器 | ||
| 压缩空气连接 | 未配备电磁阀 | 内部螺纹 ⅛“ ISO/NPT | |
| 配备电磁阀 | 内部螺纹 M5 | ||