基质转移
半导体是在专门设计的工艺室中分几个步骤生产的。在从一个工艺室到另一个工艺室的传输过程中，传输阀起着决定性的作用。为了优化生产时间，从而提高产量，需要快...
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凭借出色的颗粒性能最大限度地提高质量和生产率
低颗粒生成和排放量方面的颗粒性能，以及快速、可靠的开关周期等方面的颗粒性能是半导体生产系统中大气传输阀门的关键性能指标。
新的 07.0 真空传输阀门插件与LINVAT 兼具卓越的颗粒性能和经过优化的可控性，可实现可调、高速的循环周期。
安装选项
安装螺丝 4 x M6
安装螺丝 4 x M8
关闭
07.0 真空传输阀门插件与LINVAT 的设计专注于经过优化的颗粒性能以及高速循环周期。
通过优化各种设计特点（例如均匀密封压缩板上的扭力杆、全封闭式驱动器、无润滑环境以及具有可调速度曲线、旨在避免任何关闭冲击的真正的 L 型运动），实现了出色的颗粒性能水平。
VAT 的特殊 LINVAT 技术使 07.0 实现可调速度曲线的出色的 L 型运动。LINVAT 并未使用两个独立的驱动器来控制 L 型运动的垂直和水平运动，而是仅使用一个驱动器通过两步动作来实现这一点。结果：高度可靠的执行器，以及快速、稳定、可调和无冲击的运动。益处：运行时间更长，可控性提高。
07.0 真空传输阀门插件与LINVAT 的主要特点
特点:
- 改进的颗粒性能设计
- 无油脂运行环境
- 出色、精确的 L 型运动
- 均匀密封压缩
- 灵活的 D-sub 和 AMP 连接
优势:
- 出色的颗粒性能
- 运行时间长
- 运行可靠
- 技术数据
- 下载文件
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尺寸
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DN 10 mm (1.81" × 9.29") DN 12 mm (1.97" × 13.23") DN 14 mm (1.38" × 13.23") DN 15 mm (2.56" × 16.54") DN 20 mm (1.97" × 16.54") |
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驱动器
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气动
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轴进给机构
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波纹管
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泄漏率
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< 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
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阀板可承受压差
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关闭方向
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≤ 1 bar | |
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打开方向
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≤ 0.1 bar | ||
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打开时可承受压差
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≤ 30 mbar | ||
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首次维护前开关次数
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≥3 百万次
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驱动时间
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打开
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≤ 1 s | |
| 关闭 | ≤ 1 s | ||
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温度
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阀板处
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≤ 120 °C | |
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驱动器处
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≤ 80 °C | ||
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材质
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阀板
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铝
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波纹管保护
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聚四氟乙烯
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密封
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FFKM，硫化
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安装位置
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驱动器可向上或向下安装
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加压空气故障时锁定
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气动锁定
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位置指示器
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磁簧开关
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| 重量 | DN 10, DN 12, DN 15 DN 14, DN 20 |
8.5 kg /18.7 lbs 7.5 kg /16.5 lbs |
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