半导体无尘系统
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高真空快速切断阀 -
提供理想的回流保护
对现代切断阀的主要要求是对任何回流事件作出可靠且快速的紧急隔离响应。25.7 高真空快速切断阀旨在提供灵敏的高速隔离功能，可靠地预防回流进入工艺室或管
道系统的风险。
25.7 高真空快速切断阀受流量控制。没有任何子系统（传感器和驱动器）的直接操作设计可提供高速隔离功能，并且复杂性和故障风险均较低。在 1 bar 的压差下，从初
始回流脉冲到完全隔离所需的时间不到 10 毫秒，因此25.7 高真空快速切断阀在同类产品中处于领先地位。
作为一种安全解决方案，切断阀在理想情况下不应给系统增加流导阻碍。25.7 高真空快速切断阀的特殊流量优化设计设定了这方面的标准，在高流导和快速隔离之间实现完美平衡。
在气流中含有副产品的工艺中使用时（例如前级管道应用），快速切断阀上积聚的任何污染物都会降低流导性，并可对其隔离能力产生负面影响。25.7 高真空快速切断阀通过使用特殊的表面涂层来防止发生这种情况。这种涂层可显著减少大多数副产品的污染物积聚。可采用额外的加热选项，避免工艺气体在阀门表面凝结。
打开
逆流时紧急关闭
逆流
25.7 高真空快速切断阀可提供 DN 为 50-
160 mm (2" - 6") 的尺寸。阀体采用不锈钢
制成。标准法兰为 ISO-K，适用于 DN 63 至DN 160 (2½" - 6") 的阀门，标准法兰 ISO-KF适用于 DN 50 (2") 的阀门。
对于有腐蚀性工艺气体的应用，可以使用全
氟橡胶密封件。
25.7高真空快速切断阀主要特点呢
特点：
- 运动受流量控制
- 反应时间很快
- 流导经优化
- 特殊表面涂层可最大程度地减少副产品
- 污染
优势：
- 高水平保护
- 使用寿命延长
- 易于安装
- 购置成本低
技术数据
| 尺寸 | DN 100 (4") ，DN 160 (6") | ||
|---|---|---|---|
| 材质 | 不锈钢 | ||
| 基本法兰 | ISO-K | ||
| 泄漏率 | 阀体 阀座 |
< 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-6 mbar ls-1 |
|
| 压力范围 | 真空 to 1.2 bar (绝对压强) | ||
| 压差 | 阀门 | ≤ 1 bar | |
| 电导率（层流） | DN 100 DN 160 |
6000 ls-1 20000 ls-1 |
|
| 首次维护前开关次数 | 建议在每次回流事件之后或 随定期维护周期 | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 200 °C | |
| 高低温差 | ≤ 50 °C h-1 | ||
| 材料 | 阀体 阀门 |
AISI 304 (1.4301) AISI 304 (1.4301) |
|
| 密封 | 阀盖 阀门 |
氟橡胶 氟橡胶 |
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| 安装位置 |
只能垂直安装前级装置 |
||
| 触发器压力 | ΔP 阀门处 | ≥ 5 mbar | |
| 关闭时间 | 阀门移动时间 DN 100 DN 160 |
≤ 10 毫秒 ≤ 15 毫秒 |
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| 重量 | DN 100 DN 160 |
3.7 kg / 8.16 lbs 6.3 kg / 13.9 lbs |
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