电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查
在电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查领域使用的真空环境的控制需要高精度的真空阀技术，需要在最小的结构尺寸下达到理想效果。VAT为该领域的定制解决方案设定...
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可以根据任何要求作出调整
内联阀的关键性能指标是可靠性和可变性。26.5 高真空内联阀系列兼具可靠性和可变性。26.5 系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的可靠性。凭借驱动、法兰连接、阀体材料或密封方面的各种设计选项，该系列几乎可以满足所有要求。
在低放气率至关重要的环境中，26.5 系列是高真空系统抽气和排气的理想解决方案。其可承受高压差，并配有波
纹管封装的馈通件，适用于对粒子敏感的应用。波纹管封装还可以防止任何阀门位置出现压力峰值。
基于可靠和坚固的核心设计，26.高真内联阀为从手动到气动和电磁式的驱动提供了各种设计选项。26.4 系列提供 DN 为10 至 160 mm (0.4" - 6.4") 的多种尺寸，并且可以选择各种规格的铝或不锈钢材质。法兰连接器的标准选项为 ISO-KF 和 ISO-K。
视觉位置指示器为标配，但是也可以选择添加电气指示器。如果需要，阀门可以由设备上或远距离位置的电磁阀控制。26.5 系列可以在不同的温度条件下使用，具体取决于所选的密封弹性体。该阀门可以常开、常闭或实现双作用。除了这些标准选项以外，还可以进一步进行定制。
26.5 高真内联阀主要特点
特点:
- 众多设计选项
- 可承受高压差
- 较长的免维护周期
优势:
- 卓越的可靠性
- 可根据各种要求进行调整
技术数据
尺寸(DN)
10 mm (⅜")
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
50 mm (2")
63 mm (2½")
80 mm (6")
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
50 mm (2")
63 mm (2½")
80 mm (6")
驱动器
手动/气动驱动器
气动，单动式打开弹簧
气动，单作用关闭弹簧
气动，双作用
手动，可移动的手轮
气动，单作用关闭弹簧
气动，双作用
手动，可移动的手轮
电磁驱动器
带开口弹簧的电磁式(NC)
气动，单作用关闭弹簧
气动，单作用关闭弹簧
机体材料
铝；不锈钢
馈通件
波纹管
标准法兰
ISO-KF
ISO-K
ISO-K
泄漏率
阀体
< 1 × 10-9 mbar ls-1
阀座
< 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围
压力范围
1 × 10-8 mbar 至 5 bar (abs)
手动/气动驱动器
DN 10– 50
1 × 10-8 mbar 至 5 bar (abs)
DN 63 – 80
1 × 10-8 mbar 至 4 bar (abs)
DN 100– 160
1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar 至 5 bar (abs)
DN 63 – 80
1 × 10-8 mbar 至 4 bar (abs)
DN 100– 160
1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)
电磁驱动器
DN 10– 40
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
阀板上的压力差
在打开的方向
DN 10 – 50
≤ 5.0 bar
DN 63 – 160
≤ 1.2 bar
≤ 5.0 bar
DN 63 – 160
≤ 1.2 bar
在关闭的方向
DN 10 – 50
≤ 5.0 bar
DN 63 – 80
≤ 4 bar
DN 100– 160
≤ 2.0 bar
≤ 5.0 bar
DN 63 – 80
≤ 4 bar
DN 100– 160
≤ 2.0 bar
电磁驱动器
DN 10– 40
≤ 5.0 bar
≤ 5.0 bar
打开时的压差
≤ 1 bar
循环直到第一次维修
手动驱动器
DN 10 – 160
≥3百万
≥3百万
气动驱动器
DN 10 – 80
3 million (NC, NO)
3 million (NC, NO)
电磁驱动器
DN 100 – 160
1百万
(NC, 双作用)
1百万
(NC, 双作用)
驱动器
DN 10 – 40
200 000
200 000
温度
阀体
手动/气动驱动器
≤ 150 °C
电磁驱动器
≤ 50 °C
≤ 150 °C
电磁驱动器
≤ 50 °C
驱动器
手动/气动驱动器
≤ 120°C
电磁
≤ 50 °C
≤ 120°C
电磁
≤ 50 °C
电磁阀和位置显示器
≤ 80 °C
DN 10 – 80
≤ 50 °C
(DN 100 – 160)
DN 10 – 80
≤ 50 °C
(DN 100 – 160)
材料
铝
EN AW-6060 (3.3206)
EN-AW-6061 (3.3211)
(DN 16 – 63)
EN AW-6063 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42000
DN 80 – 160
EN-AW-6061 (3.3211)
(DN 16 – 63)
EN AW-6063 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42000
DN 80 – 160
不锈钢
AISI 304 (1.4301)
(DN 10 – 50)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
(DN 63 – 160)
(DN 10 – 50)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
(DN 63 – 160)
阀板
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
波纹管
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
AISI 316Ti (1.4571)
AISI 316Ti (1.4571)
密封
阀盖
FKM
阀板
FKM
安装位置
任何
电磁阀
DN 10 – 80
24 VDC, 2.5 W (其他要求)
DN 100 – 160
24 VDC, 1.0 W (其他要求)
24 VDC, 2.5 W (其他要求)
DN 100 – 160
24 VDC, 1.0 W (其他要求)
位置指示器：接触等级
电压
手动/气动驱动器
≤ 50 VAC/DC
电磁驱动器
最大 48 VAC / DC
≤ 50 VAC/DC
电磁驱动器
最大 48 VAC / DC
目前
手动/气动驱动器
5 – 100 mA
电磁驱动器
最大 500 mA
5 – 100 mA
电磁驱动器
最大 500 mA
主电压
100 – 120 V / 200 – 240 V / 50 – 60 Hz
工作频率
最多 15 分钟-1 at 20°C
闸阀位置显示器
视觉(机械)
