电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查
在电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查领域使用的真空环境的控制需要高精度的真空阀技术，需要在最小的结构尺寸下达到理想效果。VAT为该领域的定制解决方案设定...
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适用于标准真空工艺的可靠隔离
14.0 高真空闸阀系列旨在于标准高循环真空工艺中提 供可靠的隔离。该系列满足耐用性、模块性和可维护性的标准要求，并且特别注重长正常运行时间和低购置成本。
14.0 高真空闸阀采用 VATLOCK 技术，该技术旨在提供可靠的密封，同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。由于关闭端位置处的机械锁定，VATLOCK 机构还可以防止阀门故障。
14.0 高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。它已成为 DN 63-400 mm (2.5" - 16") 尺寸的任何高真空隔离要求的标准。
凭借坚固和无润滑剂的设计，其满足可靠高真空闸阀的所有要求。14.0 高真空闸阀专为应对特别多的工艺周期而设计，为高真空闸阀设定了标准。
14.0 高真空闸阀具有各种驱动和法兰连接设计选项，因此其可以轻易集成到任何真空系统中。有多种专门选项可供选择，例如粗抽、排气或计量表用端口以及替代密封材料，以确保最适合于不同的应用。
14.0 高真空闸阀可提供带电磁阀的手动、气动和三位气动式三种类型，作为设备上解决方案或用于外部安装均可。电磁阀的标准电压为 24 VDC，也可根据要求提供其他电压。
法兰连接器的标准选项为 ISO-F、CF-F、ASA- LP/ASA 和 JIS。可集成带和不带水冷的客户指定法兰。
14.0 高真空闸阀主要特点
特点:
- 设计可靠、成熟
- 不含润滑剂
- 具有自动防故障功能的 VATLOCK 技术
- 坚固的不锈钢阀体
- 高循环设计
- 易于维护
优势:
- 性能可靠
- 免维护周期延长
- 购置成本低
技术数据
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尺寸
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DN 63-400mm (2½" - 16")
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驱动器
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三位气动式
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双作用
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手动
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带操纵杆或方向盘
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阀体材料
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不锈钢
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馈通件
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旋转馈通件
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标准法兰
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ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS | ||
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密封技术
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阀体
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< 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
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阀座
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< 1 10-9 mbar ls-1 | ||
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压力范围
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1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200) 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400) |
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可承受压差
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阀板 | ≤ 2 bar (DN 63 – 200) ≤ 1.2 bar (DN 250 – 400) |
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打开时
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≤ 30 mbar | ||
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首次维护前开关次数
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20万次 | ||
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温度
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阀体
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≤ 150 °C | |
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气动驱动器
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≤ 50 °C | ||
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手动驱动器
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≤ 80 °C | ||
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电磁阀
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≤ 50 °C | ||
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位置指示器
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≤ 80 °C | ||
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加热和冷却速率
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≤ 50 °C h-1 | ||
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材料
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阀体、阀门
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AISI 304 (1.4301) | |
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机构（主要部件）
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AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034) |
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密封
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阀盖、阀板
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氟橡胶
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安装位置
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任何位置 (DN 63-350)
水平位置 1) (DN 400)
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电磁阀
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24 VDC，2.5 W（可根据要求提供其他值）
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位置指示器：触点额定值
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电压
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≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
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电流
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≤ 5 A | ≤ 3 A | |
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阀门位置指示
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视觉（机械）
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