半导体无尘系统
半导体无尘工艺可能具有挑战性：腐蚀性、研磨性和有毒气体和/或气流中的冷凝水和高水平的副作用都会严重影响真空阀的功能和可靠性。真空阀的主要功能包括防止回...
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任何条件下都能提供可靠的隔离
25.2 高真空钢瓶阀系列旨在用于包含携带腐蚀性物质和粒子的气体的恶劣工艺环境中，例如次晶圆厂工艺。该系列有角度 (25.0)、串联 (25.1) 和 3向2通路设计 (25.2) 可供选择，每个版本均采用最大电导率。
为提供耐用性和较长的正常运行时间，25.2 高真空钢瓶阀系列具有密封保护系统，兼具钢瓶设计的高流导和更长的密封寿命等优势。该密封保护系统通过钢瓶倾斜-转动-倾斜的动作工作，在该动作中，钢瓶会通过提起动作移除阀座上的闸封，以避免任何摩擦、密封磨损以及粒子的生成。在全开启（90° 旋转后）的情况下，倾斜-转动-倾斜的动作还会将密封件轻柔地压向阀体，防止密封件接触气流中可能存在的磨蚀粒子。断电时，阀体机构将被锁定在打开或关闭位置，维持阀体最后的位置。
25.2 高真空钢瓶阀系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。
25.2 高真空钢瓶阀为气动型，带有作为外部安装配件的电磁阀。阀门位置通过 LED 灯（10-30 VDC，5-100 mA）指示。
法兰连接器的标准选项为 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型”。标准阀板密封采用氟橡胶。可集成客户指定法兰以及特殊功能，例如加热筒、其他密封材料或不锈钢类型。
25.2 高真空钢瓶阀的主要特点
特点：
- 适用于恶劣环境，设计可靠、成熟
- 倾斜-旋转-倾斜机制，保护密封
- 最大流导
优势：
- 性能可靠
- 维护量少，可轻松维护
- 拥有成本较低
技术数据
尺寸(DN)
16 mm (⅝")
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
25 mm (1")
40 mm (1½’’)
驱动器
气动，双作用
机体材料
铝
标准法兰
ISO-KF
ISO-KF "爪子"
ISO-KF "爪子"
泄漏率
阀体
< 1 x 10-9 mbar ls-1
阀座
< 1 x 10-9 mbar ls-1
压力范围
1 × 10-8 mbar 至 3 bar (abs)
闸门上的压差
在关闭的方向
≤ 1.2 bar
在打开的方向
≤ 3.0 bar
打开时的压差
≤ 1.2 bar
循环直到第一次维修
100 000
温度
阀体
≤ 120°C
驱动器
≤ 120°C
位置指示器
≤ 80 °C
材料
阀体
EN AW-6060 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)
EN AW-6082 (3.2315)
闸门
EN AW-6082 (3.2315)
法兰
EN AW-6082 (3.2315)
轴
AISI 316L (1.4435)
闸门
带有Ni-PTFE涂层的A4-80
密封
阀盖
FKM
闸门
FKM
馈通件
FKM
馈通件
旋转式馈通件
安装位置
任何
位置指示器：接触等级
阀体
≤ 10 – 30 VDC
目前
5 – 100 mA
闸阀位置显示器
LED
