过程控制和隔离
真空和气体流的高精度控制和隔离在半导体制造中是至关重要的。在上游和下游过程中，所有的阀门功能必须保证在大量的循环中具有精确的重复性。其结果是：在规定的...
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在所有条件下都有出色的压力控制和隔离作用
61.6 HV控制蝶阀提供出色的压力控制和隔离性能。凭借其快速而精确的动作控制器（0.45秒），它是CVD工艺中精细控制和隔离的完美解决方案。蝶板作为一个节流元件，改变了阀口的传导性。61.6的集成压力控制器计算出所需的板块位置，以尽可能快地达到设定的压力。
61.6系列的隔离功能是专门为避免蝶阀特有的较高的密封磨损而设计的。通过它的中心外板轴以及阀体和密封座的特殊几何形状，密封摩擦降到最低，密封性能得到提高。
61.6系列已经安装在数以千计的各种工艺条件下的苛刻应用中，已经证明了其出色的可靠性。61.6系列具有坚固的设计和直接安装选项，以及减少和方便的维护，在所有方面都表现优异。
本体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下流/软泵）方面的各种设计选项简化了61.6系列与各种真空应用的整合。
61.6 HV控制蝶阀有硬质阳极氧化铝或不锈钢材质，并配有ISO-KF和ISO-F标准法兰接头。可以集成客户定制的法兰，以及特殊功能，如集成加热器与绝缘。可根据要求提供FFKM/FKM弹性体（FKM为标准）。
61.6高压蝶形控制和隔离阀的主要特点
特点:
- 卓越的压力控制和隔离
- 运行非常快
- 板载软件，用于本地运行
- 恶劣工艺条件下可实现可靠运行
优势:
- 工艺可控性更好
- 正常运行时间长/性能不受限
- 运行成本低
- 技术数据
- 下载文件
| 尺寸 | DN 40 ("), DN 50 (2"), DN 63 ("), DN 80 (3"), DN 100 (4") |
|
|---|---|---|
| 驱动器 | 带有步进电机的集成控制器， 面向现场的控制(foc) | |
| 阀体材料 | 硬质阳极氧化铝或不锈钢 | |
| 标准法兰 | ISO-KF, ISO-F | |
| 泄漏率：阀体 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 |
< 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 泄漏率：阀座 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 |
< 1 × 10-4 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 压力范围 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 |
< 1 × 10-6 mbar 至 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs) |
| 首次维护前开关次数1) | 压力控制 隔离 |
200 万次 25 万次 (DN 40-50) 10 万次 (DN 63-100) |
| 温度 | 阀体 控制器 |
≤ 120 °C 最大 50℃（建议 ≤35℃） |
| 材料 | 铝阀体/阀板 不锈钢阀体/轴 |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 或 1.4435) |
| 密封 | 阀板 馈通件 |
氟橡胶 氟橡胶 |
| 馈通件 | 旋转馈通件 | |
| 安装位置 | 阀座侧朝向舱室 |
1) 最大值取决于操作条件和密封材料
