电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查
在电子显微镜、计量学、检查和缺陷审查领域使用的真空环境的控制需要高精度的真空阀技术，需要在最小的结构尺寸下达到理想效果。VAT为该领域的定制解决方案设定...
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提供可靠的粗略和精准气体计量
现代气体计量阀的关键性能指标是其可控性以及精确可靠地重现流量设置的能力。而 21.1 气体计量阀系列提供了这两项功能。
21.1 系列有两种类型，一种用于粗略的气体计量（DN为10 mm，½"），另一种用于精确的气体计量（DN 为16 mm，5/8"）；由于其独立的关闭和加药针校准功能，21.1 系列可在不丢失定义流量设置的情况下关闭。使用针校准方向盘，可以将针位置和流量设置微调成所需设置。由于打开/关闭机构的运行独立于计量机构，此设置可在阀门开启和关闭期间维持。
21.1系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的可靠性。
21.1气体计量阀有两种类型，分别用于粗略气体计量（DN 为10 mm，½"）和手动方向盘驱动的精确气体计量（DN 为16 mm，5/8"）。粗略气体计量阀体为铝材质，精确气体计量 阀体由不锈钢制成。两种类型都有 ISO-KF 法兰。精确气体计量阀有额外的过滤器真空侧。
21.1 气体计量阀 主要特点
特点：
- 流量控制范围广
- 集成截止阀
- 可在不丢失流量设置的情况下关闭
优势:
- 卓越的可靠性和使用寿命
- 出色的可控性
- 购置成本低
技术数据
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粗略气体计量阀
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精确气体计量阀
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泄漏率
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阀体、阀座
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1× 10-8 mbar ls-1 | 1× 10-9 mbar ls-1 |
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压力范围
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1 × 10-7 mbar to 4 bar (绝对压强) | 1 × 10-7 mbar to 2.5 bar (绝对压强) | |
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可控气流
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最小为 40mbar l/s
最大为 1700mbar l/s
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最小为5 × 10-6 mbar l/s
最大为1000 mbar l/s
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死区
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- | 0.032 cm3 | |
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温度
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烘烤 ≤100℃
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运行 ≤80℃
烘烤 ≤100℃
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材料
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阀体
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EN AW-6082 T6 | AISI 304 (1.4301) |
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驱动器
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塑料（聚甲醛）
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塑料（聚甲醛）
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计量套筒
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- |
含氟聚合物
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密封
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氟橡胶
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氟橡胶
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安装位置
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任何位置
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任何位置
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重量
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0.2 kg/0.44 lbs | 0.4 kg/0.88 lbs |
