真空炉
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可在极大的压力范围内实现可再现精度
对现代自动化气体计量阀的主要要求是其可控度以及可靠且精准地遵循预定义流量设置的能力。62.7 气体计量阀系列兼备这两项功能。
62.7 系列提供两个不同的设计版本：电磁驱动 DN 5 mm (3/16") 版本和步进电机驱动 DN 16 mm (5/8") 版本。两个版本都能以十分精细的方式将压力控制在 < 1 · 10-8 mbar ls-1 至 2 bar (DN 5) 和 2.5 bar (DN 16) 范围的任何水平。这意味着从首次开启到全流导的气流特性能完全控制在任何压力水平。这意味着 62.7 系列不仅运行范围广，而且在一般需要多个不同阀门的情况，该系列只需提供一个阀门解决方案。此外，该系列还可提供前所未有的可控性。62.7 系列特殊的隔离和控制系统兼备了用于 DN 16 的针板机构和用于 DN 5 的孔板机构，可非常顺畅地开启，即使在非常低的流导下，也可以避开压力变化峰值。
所选择的气流特性可以通过固定设置定义，也可以在动态设置中运行。在动态设置中，工艺中的 62.7 系列通过其控制器连接到压力传感器。
62.7 系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其卓越的性能。
DN 5
DN 16
62.7 气体计量阀采用不锈钢制成，DN 5 尺寸使用客户指定法兰，DN 16 尺寸使用 ISO-KF 法兰。气流特性可在外部阀压力控制器上通过个人计算机连接或通过集成至生产过程控制单元 (PCU) 来直接定义。
62.7 气体计量阀的主要特点
特点：
- 流量控制范围十分广
- 在极小流导下具有出色的可控性
- 集成式断电关闭功能
优势：
- 卓越的工艺可控性
- 一个阀门解决方案，满足不同的压力机制
- 优秀的可靠性和使用寿命
- 拥有成本较低
技术数据
| DN 5 mm (3/16") | DN 16 mm (⅝") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 电磁式 | 步进电机 | |
| 阀体材料 | 不锈钢 | 不锈钢 | |
| 馈通件 | 轴馈通件 | 轴馈通件 | |
| 标准法兰 | 指定 | ISO-KF | |
| 泄漏率 | 阀体、阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 压力范围 | < 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs) | < 1 × 10-8 mbar to 2.5 bar (abs) | |
| 阀板可承受压差 | ≤ 1.0 bar | ≤ 1.1 bar | |
| 温度 | 阀体、阀板 环境 |
– 5 °C– 50°C |
≤ 150°C 5 °C–40°C |
| 材料 | 阀体 阀板 |
AISI 316L (1.4404 or 1.4435) AISI 430IL (1.4105IL) |
AISI 316L (1.4404 or 1.4435) AISI 316L (1.4404 or 1.4435) |
| 密封 | 阀板 计量套筒 |
FPM – |
FPM 含氟聚合物 |
| 安装位置 | 任何位置 | 任何位置 | |
| 可控流导 | 最小/最大 | 1.69 / 84.44 mbar ls-1 | 5 × 10-6 / 1250 mbar ls-1 |
| 操作时间 | 关闭/打开 | < 30 毫秒/< 30 毫秒 | 3 秒/4 秒 |
| 电源 | 24 VDC / 12 VA | 24 VDC / 12 VA | |
| 控制 | 带控制器的数字 模拟 0…10 VDC (最大 100 mA) |
带控制器的数字 模拟 0…10 VDC (最大 100 mA) |
|
| 重量 | 0.096 kg / 0.2 lbs | 0.8 kg / 1.8 lbs |
