61.3 高真空蝶形控制阀可提供出色的压力控制性能。凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。61.3 蝶形控制阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置，以尽快实现设定压力。
该系列产品专为气流中有粒子的恶劣下游工艺设计。即使粒子载荷高并且存在因设计而沉积的碎屑，61.3 蝶形控制阀仍能够保持完全正常运行。
61.3 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。凭借坚固的设计、直接安装选项，以及简单且轻松的维护，61.3 系列在各个方面都令人信服。
阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软抽）方面的各种设计选项可简化在不同真空应用中的集成。
61.3 高真空蝶形控制阀采用铝或不锈钢制成，标准法兰连接器为 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客户指定法兰和特殊功能，如集成式绝缘加热器。可根据要求提供各种全氟橡胶/氟橡胶弹性体（氟橡胶为标准选项）。
特点：
优势：
| 尺寸 | DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), DN 50 (2’’), DN 63 (2½"), DN 80 (3"), DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12") |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 驱动器 | 带步进电机的集成控制器，面向现场的控制 (foc) | ||||||||||||
| 阀体材料 | 铝或不锈钢 | ||||||||||||
| 标准法兰 | ISO-KF, ISO-F | ||||||||||||
| 泄漏率 | 铝 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |||||||||||
| 不锈钢 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||||||||||||
| 压力范围 | 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar | ||||||||||||
| 首次维护前开关次数1) | 压力控制 | 两百万 | |||||||||||
| 温度 | 阀体 控制器 |
≤ 150 °C 最大 50℃（建议 ≤35℃） |
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| 材材 | 阀体、阀板 | 铝 不锈钢 |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 或1.4435) |
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| 轴 | AISI 316L (1.4404 或 1.4435) | ||||||||||||
| 密封 | 馈通件 | FKM (其他按要求) | |||||||||||
| 馈通件 | 旋转轴，直接驱动 | ||||||||||||
| 安装位置 | 任何（建议安装在真空泵的一侧） | ||||||||||||
| DN 25 | ... | DN 320 | |||||||||||
| 最大压差 | 在阀板上 | 1000 mbar | ... | 75 mbar | |||||||||
| 流导 | 分子流 | 22 ls-1 | ... | 27000 ls-1 | |||||||||
| 最小可控流导 | 分子流 | 0.15 ls-1 | ... | 6 ls-1 | |||||||||
| 典型关闭或打开时间 “仅位置”版本 |
铝、不锈钢 | 0.09 s | ... | 0.29 s | |||||||||
| 重量 | 铝阀门 不锈钢阀门 |
2.0 kg (4.40 lbs) 2.5 kg (5.5 lbs) |
... | 10.4 kg (23 lbs) 12.3 (27.1 lbs) |
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1) 最大值取决于操作条件和密封材料
