过程控制和隔离
真空和气体流的高精度控制和隔离在半导体制造中是至关重要的。在上游和下游过程中，所有的阀门功能必须保证在大量的循环中具有精确的重复性。其结果是：在规定的...
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压力控制基准异常大的压力范围
基于 VAT 的最新控制器技术，61.7 HV 蝶形控制阀可在极大的压力范围内提供出色的压力控制性能。从几乎零电导率开始，阀门可在 0.5 秒内达到完全电导率。快速反应、精确的控制器可在整个工作范围内实现非常精细的压力控制。压力控制功能基于经过验证的 VAT 设计原理，该原理使用阀板作为节流元件来改变阀门开口的传导性。
61.7 HV 蝶形控制阀与外部压力传感器相结合，可控制真空室中的精确压力。为此，VAT 控制器使用主机系统设置的设定压力和腔室中测量的压力来改变阀板的位置，直到达到设定压力。
61.7 HV 蝶形控制阀并非设计为隔离阀，但它确实能够在零电导下运行。这是通过板上的弹性体在零电导位置接触阀体来实现的。然而，弹性体的这种标称压缩并不能有效地形成气密密封。
当阀门从零电导点打开时，电导会非常均匀地增加，而不会出现压力尖峰。 VAT 的专有设计可确保板密封对阀体的均匀分布压缩，从而实现电导曲线的平稳上升。在这方面，61.7 HV 蝶形控制阀特别适合需要高压和低流量操作环境的应用。
61.7 HV 蝶形控制阀的工作温度范围高达 150 °C，因此非常适合热工艺，例如旨在通过提高工艺温度来避免气流冷凝的工艺。
61 系列，特别是 61.7 系列的设计理念已在各种工艺条件下安装在数千种要求严格的应用中，已经证明了其卓越的可靠性。凭借其坚固的设计以及减少且易于维护的特点，61.7 系列在各个方面都令人信服。
61.7 HV 蝶形控制阀有多种设计选项，包括阀体材料、表面处理、弹性体材料、法兰连接和节流元件以及定制控制算法（即自适应、固定 PI 下游/软泵）。各种设计选项允许将 61.7 系列轻松集成到不同的应用中以及对现有系统进行改造。
61.7 高真空蝶式控制阀的主要特点
特点：
- 极低的可控电导 – 低至零升/秒
- 卓越的压力控制性能和范围
- 运行速度快
- 特别适合高压/低流量环境
- 更高的温度额定值：150°
优势：
- 更好的过程可控性
- 正常运行时间长/性能不受限制
- 运营成本低
- 技术数据
- 下载文件
| 尺寸 | DN 40 mm (1 ½"), DN 50 mm (2"), DN 63 mm (2 ½"), DN 80 mm (3"), DN 100 mm (4") |
|
|---|---|---|
| 驱动器 | 带有步进电机的集成控制器， 面向现场的控制(foc) | |
| 阀体材料 | 硬质阳极氧化铝或不锈钢 | |
| 标准法兰 | ISO-KF, ISO-F | |
| 泄漏率：阀体1) | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 |
< 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 压力范围1) | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 |
< 1 × 10-6 mbar 至 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs) |
| 首次维护前开关次数2) | 压力控制 | 200 万次 |
| 温度 | 阀体 控制器 |
≤ 150 °C 最大 50℃（建议 ≤35℃） |
| 材料 | 阀体，阀板 阀体，轴 |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404 或 1.4435) |
| 密封 | 阀板 馈通件 |
FKM FKM |
| 馈通件 | 旋转馈通件 | |
| 安装位置 | 阀座侧朝向舱室 |
1) 交货时未加热
2) 最大值取决于操作条件和密封材料
