24.2 带密封保护系统的角阀

持久的正常运行时间、优异的性能

长期接触活性腐蚀性工艺气体的真空阀十分容易出现严重磨损，尤其是用于隔离远程等离子源以进行气体清洁的真空阀。以前，维护或更换这些真空阀常常会导致生产中断，但这已成为历史。

24.2 角阀树立了耐磨性新标准。经证明，在实际应用中，其平均正常运行时间可在现有解决方案基础上提高一倍，而在某些情况下，甚至可以大幅超过这一基准。

24.2 角阀配备针对等离子清洁应用进行优化的关闭机构，便于精确操作隔离阀，并且耐用性极高，维护量极少。

然而，大多数用于等离子清洁领域的真空阀也存在缺点，例如闸封。闸封无法抵抗腐蚀性等离子气体或氟化形成的自由基。不过，24.2 角阀使用钟形关闭阀代替普通关闭阀，这一问题便迎刃而解。

有了钟形阀，便可在等离子流外部的深密封槽中放置密封件，从而更有效地防止过早磨损。不仅如此，钟形阀还可以重新设计流导。等离子流经过优化设计后，24.2 角阀的电导率比传统角阀高出 40%。这减少了通过瓶颈或湍流时损失的能量，进而增加了等离子流的功率。

最新研发设计的轴馈通件可保护馈通密封件免受过大的热应力。此外，还采用了专门的轴馈通件输送盒，用于将钟形关闭阀与馈通件热分离，防止发生直接热传导。而且，阀体与钟形关闭阀之间的间隙尺寸经过精确设置，可防止等离子穿透并最大程度减少其造成的影响。

24.2 角阀已在要求苛刻的各种等离子清洁工艺中证明了其卓越的性能。其采用模块化设计，因此可以轻松改造现有系统。

24.2 角阀的尺寸为 DN 16，提供铝制款，配有双作用气动驱动器。其他尺寸和内联阀可根据要求提供。

这款角阀采用被动式风冷结构，无需水冷。不过，也可选配主动式风冷结构，并使用与驱动器相同的压缩空气进行操作。无论是被动式风冷结构，还是可选配的主动式风冷结构，都能够直接有效地保护温度敏感密封面，实现均匀的密封。

除了标准的 FKM (Viton®) 密封材料外，动态密封件和静态密封件还可采用可选的高温 FFKM (Kalrez®) 材料，以进一步提高耐磨性，甚至无需主动冷却。此外，也可根据客户要求提供定制化的密封材料。

KF 法兰为 24.2 角阀标配。当然，也可添加客户特定的法兰作为选件。专为电绝缘而设计的塑料法兰夹可作为配件提供，用于提供额外的电流传播保护。

24.2 角阀经过专门设计，不仅能够提供高耐磨性，而且易于维护。只需松开四颗螺钉，执行几个简单步骤即可更换所有相关部件，例如静态密封件和动态密封件或输送盒。除此之外，还提供维护套件，便于实施快速可靠的维护流程。

24.2 带密封保护系统的角阀主要特点

特点：

• 针对等离子的气流优化设计
• 密封保护系统
• 集成式冷却结构
• 模块化设计

优势：

• 免维护运行时间延长
• 电导率最大化
• 等离子能量损失降至最低
• 拥有成本较低
• 可快速轻松维护