持久的正常运行时间、优异的性能
长期接触活性腐蚀性工艺气体的真空阀十分容易出现严重磨损,尤其是用于隔离远程等离子源以进行气体清洁的真空阀。以前,维护或更换这些真空阀常常会导致生产中断,但这已成为历史。
24.2 角阀树立了耐磨性新标准。经证明,在实际应用中,其平均正常运行时间可在现有解决方案基础上提高一倍,而在某些情况下,甚至可以大幅超过这一基准。
24.2 角阀配备针对等离子清洁应用进行优化的关闭机构,便于精确操作隔离阀,并且耐用性极高,维护量极少。
然而,大多数用于等离子清洁领域的真空阀也存在缺点,例如闸封。闸封无法抵抗腐蚀性等离子气体或氟化形成的自由基。不过,24.2 角阀使用钟形关闭阀代替普通关闭阀,这一问题便迎刃而解。
有了钟形阀,便可在等离子流外部的深密封槽中放置密封件,从而更有效地防止过早磨损。不仅如此,钟形阀还可以重新设计流导。等离子流经过优化设计后,24.2 角阀的电导率比传统角阀高出 40%。这减少了通过瓶颈或湍流时损失的能量,进而增加了等离子流的功率。
最新研发设计的轴馈通件可保护馈通密封件免受过大的热应力。此外,还采用了专门的轴馈通件输送盒,用于将钟形关闭阀与馈通件热分离,防止发生直接热传导。而且,阀体与钟形关闭阀之间的间隙尺寸经过精确设置,可防止等离子穿透并最大程度减少其造成的影响。
24.2 角阀已在要求苛刻的各种等离子清洁工艺中证明了其卓越的性能。其采用模块化设计,因此可以轻松改造现有系统。
![VAT 24.2 带密封保护系统的角阀](https://www.vatvalve.com/uploads/editor/images/shared/242-rpc-angle-valve-half.png)
![VAT 24.2 带密封保护系统的角阀 - 关闭](https://www.vatvalve.com/uploads/editor/images/shared/242-rpc-angle-valve-closed.jpg)
![VAT 24.2 带密封保护系统的角阀 - 打开](https://www.vatvalve.com/uploads/editor/images/shared/242-rpc-angle-valve-open.jpg)
24.2 角阀的尺寸为 DN 16,提供铝制款,配有双作用气动驱动器。其他尺寸和内联阀可根据要求提供。
这款角阀采用被动式风冷结构,无需水冷。不过,也可选配主动式风冷结构,并使用与驱动器相同的压缩空气进行操作。无论是被动式风冷结构,还是可选配的主动式风冷结构,都能够直接有效地保护温度敏感密封面,实现均匀的密封。
除了标准的 FKM (Viton®) 密封材料外,动态密封件和静态密封件还可采用可选的高温 FFKM (Kalrez®) 材料,以进一步提高耐磨性,甚至无需主动冷却。此外,也可根据客户要求提供定制化的密封材料。
KF 法兰为 24.2 角阀标配。当然,也可添加客户特定的法兰作为选件。专为电绝缘而设计的塑料法兰夹可作为配件提供,用于提供额外的电流传播保护。
24.2 角阀经过专门设计,不仅能够提供高耐磨性,而且易于维护。只需松开四颗螺钉,执行几个简单步骤即可更换所有相关部件,例如静态密封件和动态密封件或输送盒。除此之外,还提供维护套件,便于实施快速可靠的维护流程。
24.2 带密封保护系统的角阀主要特点
特点:
- 针对等离子的气流优化设计
- 密封保护系统
- 集成式冷却结构
- 模块化设计
优势:
- 免维护运行时间延长
- 电导率最大化
- 等离子能量损失降至最低
- 拥有成本较低
- 可快速轻松维护
技术数据
尺寸 | 16 mm (5/8") | ||
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法兰 | ISO-KF | ||
驱动器 | 气动,双作用 | ||
位置指示器 | 微动开关 | ||
馈通件 | 轴馈通件类型 | ||
20°C 时的压力范围 | 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar (abs) | ||
20°C 时的泄漏率 | 向外泄漏(全局) | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
阀座 | < 1 × 10-7 mbar l/s | ||
阀门可承受压差 | 关闭方向(双向) | ≤ 1.2 | |
开启方向(双向) | ≤ 30 mbar | ||
电导率 | 分子流 | 5 l/s | |
驱动时间 | 关闭或打开 | ≤ 1 sec | |
首次维护前开关次数 | 最高温度为 120°C 且处于清洁条件下 | 20 000 | |
允许温度值 | 阀体 | ≤ 150 °C | |
驱动器 | ≤ 150 °C | ||
位置指示器 | ≤ 120°C | ||
工艺侧材料 | 阀体 | 铝 (EN AW-6060 (3.3206)) | |
阀体底部(入口法兰) | 铝 (EN AW-6082 (3.2315)) | ||
闸门 | 铝 (EN AW-6082 (3.2315)) | ||
驱动器底部输送盒 | 铝 (EN AW-6082 (3.2315)) | ||
密封材料 | 闸门 | FKM (Viton®) | |
全球阀体 | FKM (Viton®) | ||
轴馈通件保护系统 | FKM (Viton®) | ||
驱动器 | 气动量 | 0.012 l / 0.0004 ft3 | |
最小-最大运行压力 | 2 – 7 bar / 29 – 102 psi | ||
空气连接器 | ¼" 配件 | ||
风冷特征 | 最大运行压力 | 7 bar / 102 psi | |
空气连接器 | ¼" 配件 |