窗口、孔或过滤箔选项

窗口、孔或过滤箔插件为产品和样品监控以及封闭真空室中的过程控制提供了多种选择。

以下真空阀系列提供窗口、孔或过滤箔插件选项：

01.0 迷你特高压闸阀

01.0 迷你特高压闸阀的选项

01.0 迷你特高压闸阀中使用的 MONOVAT 密封技术允许将窗口、孔或过滤箔安装到真空阀门闸阀中。只需打开阀壳即可将这些集成在一起，而无需从系统中拆下阀门。窗口、孔或过滤箔夹在 O 形环和可拧紧的固定环之间。订购选件时，每个阀门均配有特殊的安装工具，可轻松更换。

01.0 微型特高压带窗闸阀

窗口插件放置在阀门中。窗玻璃夹在 O 形环和可拧紧的固定环之间，以便在需要时轻松更换。

a	A-A部分	f	窗玻璃
b	阀门口	g	螺纹固定环
c	窗户弹性密封件 Ø21.95 x 1.78	h	浇口厚度 4 mm
d	玻璃直径 Ø24 ^±0.2	i	玻璃厚度 1.5 ^±0.1
e	光学自由直径 Ø21 ^±0.2	j	装配工具孔

窗户规格	光学自由直径： 21.0^±0.2 外径： 24.0^±0.2 玻璃厚度： 1.5^±0.1 标准窗玻璃材质：硼硅酸盐或蓝宝石（其他材质需由客户提供）
选项	大门内的盖板（代替窗玻璃） 2个阀门焊接在一起 3个阀门焊接在一起
备件	弹性体密封件用于将窗玻璃固定到位的固定环。组装工具硼硅酸盐窗玻璃蓝宝石窗玻璃盖板
泄漏测试	每个阀门都在安装了窗玻璃的情况下进行了泄漏测试。

01.0 微型特高压带孔口闸阀

闸门上的孔可以实现受控的流动。此外，该选项通常仅用于焊接在一起的两个阀门。

闸门中的标准孔 (0.05 至 15 mm)

孔与窗玻璃以相同的方式夹在 O 形环和可拧紧的固定环之间。它可以控制流量，通常与另一个阀门结合使用以实现隔离功能。两个阀门都采用这种结构焊接在一起，以避免额外的密封要求。

a	A-A部分	e	孔口直径 24.0^±0.2
b	阀门口	f	浇口厚度 4 mm
c	孔口弹性密封件 Ø21.95 x 1.78	g	孔板厚度
d	螺纹固定环 Ø24 ^±0.2	h	装配工具孔

节流孔规格	尺寸： 0.05 至 15 mm 外径： 24.0^±0.2 厚度： 1.5^±0.1 标准材质： AISI 301
选项	闸门上的开口可安装标准节流孔（不包括节流孔）闸门中的盖板（而不是孔口） 2 或 3 个阀门焊接在一起
备件	弹性体密封件标准孔板用固定环组装工具盖板孔径： 0.05 至 15 mm
泄漏测试	每个阀门都经过泄漏测试，并安装了盖板，以确保阀座处的密封性。泄漏测试后，拆除盖板并安装客户特定的孔口。

闸门小孔 (0.01 至 0.1 mm)

孔在 M4 固定螺钉和闸口之间。孔和闸门之间不密封。这意味着当使用盖板而不是节流孔时，阀门在阀座处不会密封。孔可用 3 号螺丝刀更换。

a	A-A部分
b	阀门口
c	闸口厚度 4 mm
d	孔直径 3.0^0/-0.05mm
e	固定螺丝 M4

节流孔规格	尺寸： 0.01 至 0.1 mm 外径：3.0^0/-0.05mm 厚度： 0.3 mm 标准材质： AISI 304
选项	在门上打开一个小孔以安装小孔（不包括孔）闸门中的盖板（而不是孔口） 2 或 3 个阀门焊接在一起
备件	弹性体密封件小孔用固定环固定螺丝 M4 孔径 0.01 至 0.1 mm 盖板
泄漏测试	在不带孔口的标准阀门配置或焊接在一起的两个阀门的配置中提供泄漏测试，其中一个提供隔离功能，另一个提供孔口功能。

01.0 带过滤箔的迷你特高压闸阀

门内的标准过滤箔

该阀门供货时不带过滤箔。必须单独采购和安装。

a	A-A部分	f	箔片空间 0.2...0.4 mm
b	阀门口	g	箔式过滤器固定环
c	箔片弹性密封件 Ø21.95 x 1.78	h	浇口厚度 4 mm
d	箔片直径 Ø25 ^±0.2	i	箔厚度 0.2 – 0.4 mm^±0.1
e	自由直径 Ø21 ^±0.2	j	装配工具孔

箔式过滤器	自由直径： 21.0^±0.2mm 外径： 25.0^±0.2mm 厚度： 0.2 - 0.4 mm
选项	门上的开口用于安装箔过滤器（不包括箔过滤器） 2 或 3 个阀门焊接在一起
备件	弹性体密封件箔式过滤器固定环组装工具
泄漏测试	每个阀门都使用盖板和窗口固定环进行泄漏测试。箔过滤器的固定环仅在泄漏测试程序后安装。.

LUXEL (VF111) 门内过滤箔

LUXEL（VF111）滤光箔系列为软 X 射线应用带来了多项优势。滤光片螺纹连接到闸阀中，旨在抑制可见光、去除软散射辐射，并将 X 射线/EUV 带通限制在感兴趣的区域。该阀门始终不带 LUXEL 过滤器。阀门或固定环必须发送至 LUXEL 公司来安装过滤器。可以更换带有 LUXEL 过滤器的固定环，无需更换阀盖密封件或从系统中拆除阀门。与带窗口的设计选项相比，唯一的区别是固定环。闸门、O 形圈和装配工具没有区别。

a	A-A部分	f	卢克塞尔过滤器
b	阀门口	g	LUXEL 过滤器固定环
c	箔片弹性密封件 Ø21.95 x 1.78	h	浇口厚度 4 mm
d	箔片直径 Ø20.6 ^±0.1 ^±0.05	i	LUXEL滤光片厚度 1.74 ^0-0.1
e	自由直径 Ø15.9 ^±0.2	j	装配工具孔

箔式过滤器规格	详细信息请查询 LUXEL网站
选项	在门上打开以安装 LUXEL 过滤器（不包括过滤器） 2 或 3 个阀门焊接在一起
备件	弹性体密封件 LUXEL 过滤器固定环组装工具
泄漏测试	每个阀门都使用盖板和窗口固定环进行泄漏测试。 LUXEL 过滤器的固定环仅在泄漏测试程序后安装。

10.8 特高压闸阀选件

10.8 特高压带窗闸阀

10.8 特高压闸阀采用VATLOCK密封技术。为了将窗口集成到门中，密封机制略有改变，以避免板簧阻碍窗口的光学自由通道。

	DN 63	DN 100
Ø a	70	100
Ø b	46^±0.2	50^±0.2
Ø c	40	43
Ø d	M48x1.5	M52x1.5
e	21	21
f	4^±0.1	4^±0.1
g	3.3	3.3
h	9	9

	DN 160	DN 200
Ø a	150	200
Ø b	75^±0.2	97^±0.2
Ø c	68	90
Ø d	90	113
e	21	26.5
f	6^±0.1	6^±0.1
g	3.7	3.7
h	8	12

窗口规格	窗口的最大尺寸由VATLOCK机制定义。在这方面，阀门 DN 250 和 DN 320 不兼容有窗口。标准窗口材料：硼硅酸盐或蓝宝石（其他材料需由客户提供）光学自由直径C 阀门 DN 63: 40 mm 阀门 DN 100: 43 mm 阀门 DN 160: 68 mm 阀门 DN 200: 90 mm 玻璃厚度阀门 DN 63 – 100: 4 mm 阀门 DN 160 – 250: 6 mm 阀门安装位置：任意
备件	用于更换窗户的装配工具 DN 63 用于更换窗户的装配工具 DN 100
泄漏测试	每个阀门都使用盖板和窗口固定环进行泄漏测试。

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 特高压隔离闸阀选件

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 特高压隔离闸阀，闸门带有窗口、孔或箔片过滤器

15 系列特高压隔离真空闸阀采用 MONOVAT 密封技术，类似于 01.0 迷你特高压闸阀。它们适用相同的技术规范。因此，请参阅 01.0 迷你特高压闸阀部分。窗口、孔或箔片的最大尺寸通常由闸口的直径限定。

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 特高压隔离闸阀，闸门带有窗口、孔或箔片过滤器尺寸图

a	MONOVAT门
b	固定环
c	窗口
d	O 型圈

窗口规格
参见系列 01.0

有窗口
带节流孔
带箔过滤器

16.2 HV 摆式隔离阀的选件

16.2 带闸门的高压摆式隔离阀

16.2 系列采用摆阀设计，可实现安装大窗口。例如，DN 250 阀门可以具有光学自由直径为 200 mm 的窗口。在大门上设置多个窗口也是一种选择。窗口由 O 形圈密封，还可防止热膨胀过程中玻璃与金属接触。

窗口规格
阀门尺寸 DN	窗户材质	光学自由直径"A"¹ mm	玻璃厚度 mm
200	硼硅酸盐蓝宝石	130 170	6 5
250	硼硅酸盐蓝宝石	130 200	6 6
320	硼硅酸盐蓝宝石	150 250	8 6
350	硼硅酸盐蓝宝石	150 250	8 6
400	硼硅酸盐蓝宝石	150 250	8 6
500	硼硅酸盐蓝宝石	根据特殊要求根据特殊要求

1 上述规格已包括最大可能规格的窗口。可根据要求提供较小的窗口。由于窗口的重量限制，无法将阀门安装在任意位置。

a	闸门
b	拧紧
c	法兰
d	窗口
e, f	密封件
	阀座侧