21.2 1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar (abs)

泄压阀

适用于真空系统的超压保护

21.3 1 × 10-8 mbar 至 1 bar (abs)

排气阀

受控的真空系统排气

23.0 1 × 10-8 mbar 至 1 bar (abs)

阀门机构和泵出系统

适用于不常用的抽真空容器或气体隔离