特殊类别的隔离控制阀，其中的真空门通过旋转运动移出开口截面。通过非常精细的传导控制，是工艺室中下游压力控制的标准解决方案。特点是。设计紧凑，振动小，开启和关闭平稳，避免了过程中的颗粒。
蒸发器和溅射应用中隔离要求的标准
用于大真空流量和苛刻条件的紧凑设计
可优化半导体与显示器系统中的下游压力控制和隔离
高过程压力、低流量腐蚀性蚀刻应用的理想之选
