21.1 1 × 10-7 mbar 至 4 bar (abs)

气体计量阀

真空室的受控、可再现气流引入

22.0 1 × 10-7 mbar 至 5 bar (abs)

隔膜阀

气体和液体的多功能解决方案

59.0 UHV 至 10 bar (abs)

超高真空全金属可变泄漏阀

满足极端超高真空要求

62.7 1 × 10-8 mbar 至 2 bar (abs)

气体计量阀

可高效控制真空室的气流